Pôle Epitaxie: Hétérostructures et nanostructures III-V

Le  « Pôle Epitaxie » de la plateforme Nanolyon bénéficie depuis 2012 d’un équipement unique constitué de 3 réacteurs d’épitaxie par jets moléculaires (III-V, oxyde), d’un réacteur PECVD et d’un analyseur XPS connectés sous ultra-vide. Il prévoit pour le futur de poursuivre son développement par l’ajout d’un réacteur de dépôt par pulvérisation cathodique (off axis/confocal) pour la croissance des oxydes et leur intégration sur silicium, la modification d’un réacteur PECVD en ALD pour l’étude des interfaces nanofils semiconducteurs-oxydes fonctionnels et l’implémentation d’un nouveau manipulateur chauffant sur l’analyseur XPS en complément des expériences effectuées sur les grands instruments Synchrotons. Il pourra continuer ainsi à valoriser les développements réalisés par l’équipe H&N en enrichissant son offre d’hétérostructures et de nanostructures III-V pour la conception et la réalisation de composants photoniques ou photovoltaïques, mais également à développer son offre de templates d’oxydes cristallins/Si pour l’intégration d’oxydes fonctionnels.

 

Responsable de l’axe de recherche : P. Regreny

 

Participants : M. Gendry, P. Regreny

 

Doctorant :

F. Chancerel (2015-2018): « Microtechnologies (EPI Lift-Off) dédiées aux systèmes photovoltaïques à haute concentration (HCPV) de haute performance dans la filière InP. »

 

Projets contractuels :

– ANR 2015-2018 : PICSEL

– ERC C. Monat 2015-2018 : GRAPHICS

– ANR 2018-2021 : PHOLDING

 

Collaborations : CEA-Leti, C2N Palaiseau, IEMN-ISEN Lille, UMI-LN2 et Université de Sherbrooke (Canada), Université de Keio Yokohama (Japon), Université de Ghent (Belgique), IMEC (Belgique).

Collaborations internes INL avec les équipes Nanophotonique, Photovoltaïque, Spectroscopie et Nanomatériaux.

 

 

INL CNRS