Annuaire - INL CNRS

ABOUCHI Nacer Professeur des Universités

ABOUCHI Nacer

Site : CPE

Equipe : Conception de Systèmes Hétérogènes
CPE : CPE - 04 72 43 15 24

Projects

Design aids for analog and mixed integrated circuits : innovative methodologies and design automation for integrated analog sensor interfaces.

ALBERTINI David Ingénieur de Recherche

ALBERTINI David

AMARA Mohamed Chargé de Recherche

AMARA Mohamed

ANDRE Bénédicte Ingénieur de Recherche

ANDRE Bénédicte

ANDREIEV Oleh Doctorant

ANDREIEV Oleh

APOSTOLUK Aleksandra Maître de Conférences

APOSTOLUK Aleksandra

Site : INSA

Equipe : Spectroscopies et Nanomatériaux
INSA : Blaise Pascal 2ème étage - 04 72 43 71 86

CV

Expérience professionnelle :

• 2 septembre 2017 – 16 septembre 2017 – chercheur invité à JAIST - Japan Advanced Institute of Science and Technology (JSPS follow-up program), Nomi, Préfecture d"Ishikawa, Japon.

• 1er février 2015 – 1er mai 2015 – chercheur invité à l"Université de Tokyo (Todai), Tokyo, Japon.

• 15 juillet 2014 – 31 juillet 2014 – chercheur invité (JSPS follow-up program) à l"Université de Tokyo (Todai), Tokyo, Japon.

• 1er juillet 2009 – 31 juillet 2009 – Chercheur invité à l’université KEIO, Yokohama, Japon,

• Depuis 1er septembre 2006 – maître de conférences à l’INSA de Lyon au Département Science et Génie
des Matériaux (SGM),

• 1er septembre 2005 – 31 août 2006 – Attaché Temporaire de l’Enseignement et de Recherche (ATER) à
temps plein à l’Université de Technologie de Troyes, au Laboratoire de Nanotechnologie et
d"Instrumentation Optique (LNIO) CNRS FRE 2671,

• 1er – 31 août 2005 – Chercheur invité à l’Université de Thammasat, Bangkok, Thaïlande,

• 2005 – Enseignante à l’Ecole Polytechnique de Palaiseau,

• 2003 – 2005 – Stage post–doctoral au Laboratoire Cellules et Composants du Commissariat à
l’Energie Atomique (CEA) Saclay, dans le cadre du projet international européen MOLYCELL (ang.
“Molecular Orientation, Low band gap and new hYbrid device concepts for the improvement of flexible
organic solar CELLs”)
Sujet de la recherche : Mise en œuvre et exploitation d’expériences de photophysique en vue de la
caractérisation et l’optimisation de cellules solaires à base de polymères,

• 1er octobre 2000 – 27 juin 2003 – Thèse de doctorat au laboratoire des Propriétés Optiques des
Matériaux et Applications (POMA) à l’Université d’Angers, thèse soutenue le 27 juin 2003,
Sujet de la thèse: Dynamique de la polarisation tout–optique de molécules organiques présentant un
photochromisme rapide en phase polymérisée,

• 1er octobre 2000 – 30 septembre 2003 – Enseignante à l’Université d’Angers (monitorat),

• 2003 – co-auteur et chercheur pour le projet scientifique dans le cadre du programme de recherche
franco-letton "Osmose".
Titre du projet: Polarisation induite optiquement de molécules organiques dans les films minces de
polymères pour doublage de fréquence en collaboration avec l’Institut de Physique et Energétique,
Académie des Sciences de Lettonie, Laboratoire des Matériaux Organiques, Physique de l’Etat Solide
et Electronique Moléculaire, Lettonie),

• 1er octobre 2000 – 30 novembre 2000 – Chercheur au Commissariat à l’Energie Atomique (CEA) Saclay
– Groupe des Matériaux Organiques,
Sujet du stage: Conception de l’expérience pour la polarisation tout optique, études et
l’orientation tout–optique de nouveaux matériaux en couches minces pour des cellules photovoltaïques
(induction de jonctions de type p–n).

• 1999 – 2000 – Master à l’Institut de Physico–chimie et Chimie Théorique, Ecole Polytechnique de
Wroclaw, Pologne,
Sujet de master: Etude de la conjugaison de phase par le mélange de quatre ondes dans un colorant –
matrice polymérisée.

Langues parlées

• Polonais, anglais, français, espagnol, russe, japonais

English CV

Professional experience:

• 2nd September 2017 – 16th September 2017 – Invited researcher at the JAIST - Japan Advanced Institute of Science and Technology (JSPS follow-up program), Nomi,
Ishikawa Prefecture, Japan.

• 1st February 2015 – 1st May 2015 – Invited researcher at the Tokyo University (Todai), Tokyo, Japan.

• 15th July 2014 – 31st July 2014 – Invited researcher (JSPS follow-up program) at the Tokyo University (Todai), Tokyo, Japan.

• 1st July 2009 – 31st July 2009 – Invited researcher at the KEIO university, Yokohama, Japan,

• Since 1st September 2006 – Associate professor at the National Institute of Applied Sciences (INSA
Lyon) in Lyon (permanent position), department of Material Science and Engineering,

• 1st September 2005 - 31st August 2006 – Associate professor at the Troyes University of
Technology, France, and researcher in the Laboratory of Technology and Optical Instrumentation
(LNIO) (temporary position),

• 1st – 31st August 2005 – Invited researcher at the Thamassat University, Bangkok, Thailand,

• 2003 – 2005 – Post–doctoral fellowship in the Laboratoire Composants et Cellules of the CEA
Saclay, project of the international European MOLYCELL project (“Molecular Orientation, Low band gap
and new hYbrid device concepts for the improvement of flexible organic solar CELLs”)
Research subject: Realisation and exploitation of the experiments in photophysics for
characterisation and optimisation of the polymer based solar cells,

• 2005 – Teacher in organics materials for nonlinear optics at the Ecole Polytechnique, Palaiseau,
France,

• 2000 – 2003 – scientist at the Laboratory of Optical Proprieties of Materials and Applications
(POMA) at the University of Angers, France. PhD thesis defence: 27th June 2003,

• 2000–2003 – Teacher in physics, optics and optoelectronics at the Faculty of Sciences, University
of Angers, France,

• 2003 – co–author and researcher for the research project in the framework of the French–Latvian
research program "Osmose".
Title of the project: Optically induced polarisation of organic molecules in thin polymer films for
frequency doubling, in cooperation with Prof. Inta Muzikante Institute of Physics and Energetics,
Latvian Academy of Sciences, Laboratory of Organic Materials Solid State Physics and Molecular
Electronics, Latvia),

• 1999 – 2000 – M.Sc. in material science engineering, optics and photonics at the Wroclaw
University of Technology, Wroclaw, Poland, Faculty of Basic Problems of Technology.

Spoken languages:

• Polish, English, French, Spanish, Russian, Japanese

Projects

I am interested in the studies of the properties of the heterostructures and nano-materials by means of optical spectroscopy. My current research projects concern the fabrication and structural and optical characterization of wide bandgap semiconducting nano-objects with controlled structures and functionalities for energy conversion, gas sensors and solar cell applications.

ARMAND Rémi Doctorant

ARMAND Rémi

AUDRY-DESCHAMPS Marie-Charlotte Maître de Conférences

AUDRY-DESCHAMPS Marie-Charlotte

AYBEKE Ece, Neslihan CDD Chercheur

AYBEKE Ece, Neslihan

BABOUX Nicolas Maître de Conférences

BABOUX Nicolas

BACHELET Romain Chargé de Recherche

BACHELET Romain

BARBIER Daniel

Site : INSA

Equipe : Dispositifs Electroniques
INSA : Blaise Pascal 6ème étage - 04 72 43 85 47

CV

Daniel BARBIER, né en 1950, a obtenu successivement en 1973, le diplôme d’Ingénieur INSA, puis en 1977, le grade de Docteur-Ingénieur à l’INSA de Lyon. De retour de coopération militaire en 1979, il reprend ses fonctions d’assistant à l’INSA de Lyon. En 1985, il obtient le grade de Docteur ès Sciences de l’Université Claude Bernard-Lyon I pour ses travaux au Laboratoire de Physique de la Matière de l’INSA de Lyon sur les recuits par faisceaux d’électrons pulsés dans les semi-conducteurs. Nommé Maître de Conférences au Département de Génie Electrique de l’INSA de Lyon en 1986, Daniel BARBIER se consacre alors aux divers aspects fondamentaux et technologiques des traitements thermiques rapides pour la microélectronique ultra-submicronique et les microsystèmes. En 1994, Daniel BARBIER est nommé Professeur des Universités au Département de Génie Electrique de l’INSA de Lyon, où il dirige actuellement le groupe « Micro-NanoSystèmes et Intégration Fonctionnelle » (7 permanents et 10 doctorants) au sein de l’Institut des Nanotechnologies de Lyon. La recherche dirigée par le Professeur Daniel BARBIER porte essentiellement sur les multicouches complexes et les micro-nanostructures pour les MEMS/NEMS et les dispositifs intégrés très hétérogènes. Daniel BARBIER est auteur ou co-auteur de plus de 160 publications internationales avec comités de lecture sur les différents domaines de son activité de recherche.
Daniel BARBIER est membre du Comité Exécutif de la « European Materials Research Society”. Il a été responsable du Master « Dispositifs de l’Electronique Intégrée » de 1998 à 2003 et, de mai 2003 à décembre 2006, directeur de l’Ecole Doctorale « Electronique Electrotechnique et Automatique » de l’actuel Pôle de Recherche et d’Enseignement Supérieur « Université de Lyon ». Il est actuellement Directeur Adjoint de la Recherche et des Etudes Doctorales de l’INSA de Lyon.
Daniel BARBIER a également effectué de nombreuses missions d’expertise, notamment pour le Ministère de la Recherche (MSTP et Crédit Impôt Recherche) depuis 2002. Il est expert de l’Agence de l’Innovation Industriel depuis novembre 2007. Enfin, il a été membre nommé de la 63ème section du Conseil National des Universités de 2002 à 2007, ainsi que du groupe d’experts du programme PNANO de l’ANR depuis sa création.

English CV

Daniel BARBIER was born in 1950. He first received the Master in Engineering degree from the “Institut National des Sciences Appliquées” (INSA), Lyon, France in 1973 and the Doctor in Engineering degree from the Claude Bernard University, Lyon, in 1977 for his work on optoelectronic properties of II-VI semiconductor ternary alloys. In 1985 he received the “Doctor-és-Science” degree from the Claude Bernard University for his contribution on “Pulsed Electron Beam Annealing of Semiconductors” and in 1986 was appointed as Assistant Professor in the Electrical Engineering Department of INSA-Lyon.
After having studied for more than 10 years fundamentals and applications of Rapid Thermal Processes for submicron MOS devices and microsensors, Daniel BARBIER has been appointed as a Professor at the Electrical Engineering Department of INSA-Lyon in 1994. He is presently heading the group “Micro-NanoSystems and Function Integration” within the Institute of Nanotechnologies of INSA-Lyon. The main focus of the group of Pr Daniel BARBIER is complex multi-layers and nanostructures for MEMS/NEMS and heterogeneous integrated devices. Pr Daniel BARBIER has authored or co-authored more than 160 referred papers related to the above research fields.
Pr Daniel BARBIER is an elected member of the Executive Committee of the European Materials Research Society. During the period 1998-2003 he was responsible for the “Integrated Electron Devices” Master curriculum of the Lyon-University cluster. From year 2003 to year 2006 he has been heading the Doctoral School in Electrical Engineering of Lyon-University, which presently involves 250 PhD students and 9 major research units. He has been appointed as deputy director of research and doctoral studies at INSA de Lyon on September 1st, 2007.
Pr Daniel BARBIER has also been working many time as an expert for several French and foreign agencies or academic institution in the research field of micro and nanosystems.

Projects

Micro-nanotechnologies and heterogeneous integration for silicon micro and nanosystems:
The research activity of Professor Daniel Barbier is aimed toward enhancing integrated functions -microlectronic and multiphysic (MEMS and microsensors)- in the mainstream silicon technology. Projects led by Professor Daniel Barbier concerns on the one hand, new functional materials and associated processes and on the other hand innovating micro-nano architectures. Publications issues from the work of Professor Daniel Barbier are focused on integration of functional multilayered or nanostructured device parts such as interconnexions for highly densified integrate circuits, bioMEMS and biosensors, hydrogen micro-réservoirs, MEMS micro-resonators.

BELAROUCI Ali Chargé de Recherche

BELAROUCI Ali

BENAMROUCHE Aziz Assistant Ingénieur

BENAMROUCHE Aziz

BENCHEMOUL Maxime Doctorant

BENCHEMOUL Maxime

BENHAMMOU Younès Doctorant

BENHAMMOU Younès

BENYATTOU Taha Directeur de Recherche

BENYATTOU Taha

Site : INSA

Equipe : i-lum
INSA : Blaise Pascal 2ème étage - 04 72 43 71 49

CV

Taha BENYATTOU est né en 1960. Il a obtenu son diplôme de doctorat en 1987 à l’Université Claude Bernard de LYON. Il a intégré le LPM en 1989 en temps que CR2 CNRS. Jusqu’en 1997, son activité de recherche a porté principalement sur la spectroscopie optique de nanostructures semiconductrices. Depuis ses travaux ont évolué vers la nanophotonique. Ces dernières années, il a été principalement impliqué dans les applications des structures à cristaux photoniques (CP) telles que les CP sur SOI pour les interconnexions optiques, CP sur silicium poreux pour la biodétection. Actuellement, la génération de forces optiques à l’aide de CP constitue son principal sujet de recherche. Durant sa carrière, il a principalement développé les moyens de simulation (simulateur quantique, FDTD...) et des bancs dédiés de caractérisation optique depuis l’échelle macro-micro jusqu’à l’échelle nano (champ proche optique). Il a été impliqué dans 3 projets européens et environ 10 projets nationaux. Son travail a donné lieu à environ 80 publications dans des revues internationales et plus de 100 contributions dans des conférences internationales avec un facteur h=20.
Il est le co-responsable de l’équipe nanophotonique de l’INL depuis 2006. Il est impliqué en temps qu’expert à l’OMNT. Il est aussi référé pour les programmes PNANO et les journaux IOP, AIP et OSA. Depuis 2008, il est responsable de la thématique micro-nano photonique au sein du cluster micronano (Region Rhône Alpes).

English CV

Taha BENYATTOU is born in 1960. He received his PhD thesis in 1987 at the Université Claude Bernard LYON FRANCE. He joined the LPM laboratory in 1989 as a CNRS researcher. He was mainly involved in the optical spectroscopy for semiconductor nanostructure until 1997. Since, its research work has been extended to the nanophotonic field. In these last years, he has been mainly involved in application of photonic crystal such as SOI PC structure for optical interconnect, PC based on porous silicon for bio sensing. Now, the generation of optical forces using PC is its main research field. During his career he has mainly developed simulation tools (Quantum simulator, FDTD…) and dedicated optical setup ranging from the macro-micro scale to the nanoscale (SNOM). He has been involved in three European programs and around 10 national programs. This work has give rise to 80 publications in international revue and more than 100 conferences with a corresponding hfactor=20.
He is the co head of the nanophotonic group at the INL since 2006. He is involved as an expert at the OMNT on the nanophotonic devices. He is a referee at the PNANO program and for IOP, AIP and OSA journal. Since 2008, he is the leader of the nanophotonic thematic of the regional Cluster micronano (Region Rhône Alpes)

Projects

Optical modeling and characterization of nanophotonic structures
Nano optical tweezer
Porous silicon photonics

BERGUIGA Lotfi Ingénieur de Recherche

BERGUIGA Lotfi

BERRY Florian Doctorant

BERRY Florian

BLANC-PELISSIER Danièle Chargé de Recherche

BLANC-PELISSIER Danièle

Site : INSA

Equipe : i-lum
INSA : Blaise Pascal 2ème étage - 04 72 43 72 86

CV

Parcours professionnel
1984 - 1990 Associée de Recherche, Physics Department, Heriot-Watt University, Edimbourg, GB
1990 - 1991 Attachée Temporaire d’Enseignement et de Recherche, Laboratoire TSI, Saint-Etienne
1991 - 2007 Chargée de Recherche au CNRS, Laboratoire Hubert Curien, Saint-Etienne
1998 -1999 Mise à disposition par le CNRS à McGill University, Montréal, Canada
Depuis 2008 Chargée de Recherche au CNRS, INL, Lyon

Expertise scientifique et technique
• Micro et nano-technologies (conception, fabrication et caractérisation de guides d"ondes, d’éléments optiques diffractants et de micro-sources de lumière), matériaux pour l’optique (synthèse, mise en forme et caractérisation de nanomatériaux multifonctionnels).
• Cellules photovoltaïques en silicium : application des technologies laser, dépôts d"oxydes par ALD et caractérisations opto-électroniques

English CV

Danièle Blanc was born in 1958 in Lyon, France. She obtained a Master degree in Physics from Université Claude Bernard in Lyon and a PhD in Solid State Physics from Université Joseph Fourier in Grenoble in the field of amorphous silicon solar cells. She spent 6 years as a Research Associate at Heriot-Watt University in Edinburgh where she worked on various fields related to material science. Since 1991, she is a research scientist with French CNRS. She spent 15 years at Université de Saint-Etienne working in the field of optical thin films, non linear optics and diffractive optics. After a sabbatical year at McGill University, Montreal in 1999, she concentrated on the application of hybrid sol-gel material to micro-optics. She joined the Photovoltaics Group at the Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL) in January 2008 to develop electro-optical characterisation techniques, laser processing and Atomic Layer Deposition for silicon solar cells.

Projects

- Silicon solar cells
- Laser micro-machining for solar cell fabrication with improved efficiency/cost ratio. New solar cell design using laser technology. Laser-matter interaction study. Atomic Layer Deposition of oxides.
- Electro-optical characterisation of silicon material and solar cells (lifetime/diffusion length measurements by Light Beam Induced Current and Photoluminescence)

BLUET Jean-Marie Professeur des Universités

BLUET Jean-Marie

Site : INSA

Equipe : Spectroscopies et Nanomatériaux
INSA : Bât. Blaise Pascal RdC - 04 72 43 87 32

CV

Jean-Marie Bluet a obtenu son doctorat dans la spécialité matière condensée à l’Université de Montpellier II en 1997. Il a ensuite effectué des stages post-doctoraux au laboratoire LMGP (caractérisations des cristaux massifs de SiC) à Grenoble et au CEA LETI (implantation ionique de type p dans le SiC) avant d’être nommé Maître de conférences à l’INSA de Lyon en septembre 1999. Son activité de recherche a d’abord été centrée sur la caractérisation des semiconducteurs à grand gap et notamment le SiC avec en particulier le développement d’un band de cartographie de photoluminescence dans l’UV et des études sur les composants MOS et MESFETs. Son activité de recherche s’est diversifiée pour se tourner vers les études spectroscopiques d’objets nanostructurés (nanoparticules de Si et SiC, SiC poreux, couches ultra minces de Si contraint). L’ensemble de ses activités de recherche ont conduit à 80 publications répertoriées dans la base Web of Knowledge et à de nombreuses participations à des conférences internationales et colloques nationaux dont 4 invitées. Il a obtenu l’habilitation à diriger des recherches en 2009. D’autre part Jean-Marie Bluet effectue un service d’enseignement (TP, TD, Cours) essentiellement centré sur la physique au premier cycle de l’INSA de LYON. Il est de plus responsable depuis 2004 de la discipline outils mathématique pour la physique.

English CV

Jean-Marie Bluet has obtained is PhD at University of Montpellier II in 1997 with the specialty in condensed matter. He has then worked in LMGP lab in Grenoble and in CEA LETI as a post doc respectively on silicon carbide (SiC) ingots characterizations and on aluminum implantation in SiC. He then obtained an assistant professor position at INSA de Lyon in 1999. His research activity was in a first time focused on wide band gap semiconductors characterizations (mainly SiC). The main results were the development of an UV scanning photoluminescence system and advances in devices deficiencies understanding (MOS and MESFETs). He then moved to spectroscopic studies of semiconductors studies at the nanoscale with investigations of Si and SiC nanoparticules, porous SiC and ultra-thin strained Si on insulator. His global research activity has led to the publication of 80 articles referenced in Web of knowledge and to the participation in many international conferences (4 invited among them). He obtained the habilitation in 2009. Jean-Marie Bluet is also teaching physics (point mechanic, optic, electromagnetism) at INSA de LYON (Demonstrations/practical works, full classroom tutoring, and lectures). He is also responsible for the “Mathematical tools for physics” course.

Projects

Optical spectroscopic investigations of semiconductor materials and nanostructures and devices deficiencies analysis by defects sepctroscopy.

BOISMAIN Florent CDD ITA

BOISMAIN Florent

BOSIO Alberto Professeur des Universités

BOSIO Alberto

BOTELLA Claude Ingénieur d'Etudes

BOTELLA Claude

Site : ECL

Service technique
Equipe : Hétéroépitaxie et Nanostructures
ECL : F7 RDC - 04 72 18 67 20
Plateforme Nanolyon : Pôle Epitaxie

CV

FORMATION ACADةMIQUE

2010 : Validation des acquis et obtention du master Génie électrique et génie des procédés (option dispositif de l"électronique intégré).

1993 : BTS contrôle industrielle et régulation automatique (mesure physique) au lycée Ed. Branly lyon.

1991 : BAC technique contrôle industrielle et régulation automatique (mesure physique) au lycée Ed. Branly lyon.

FORMATION CONTINUE

2006 et 2007 : écoles thématiques en nanotechnologie (formation CNRS).

2005: Formation continue Traitement de surface par plasma a l’INPG (cours et TP)

2004 à 2006: Formation continue en anglais.

2002 à 2004: CNAM UV obtenue en Mathématique de l’ingénieur, Automatisme industriel,
Algorithme et structure de données.

2002: Formation CNRS administrateur réseaux linux gaia mini-système.

EXPERIENCES PROFESSIONNELLES
Depuis 2001 : Agent titulaire CNRS au poste d’Assistant ingénieur en instrumentation scientifique au LEOM, puis dans l’Institut des Nanotechnologie de Lyon. Chargé du développement des équipements de technologie et des appareillages de mesure et caractérisation dans les domaines de l’électronique informatique et automatisation. (Automatisation d’équipement d’épitaxie, amélioration et développement de bancs d’analyses XPS XPD, et développement de divers interface et modules pour l’appareillage du laboratoire). Chargé de la formation du personnel a l’utilisation du système de programmation LABVIEW. Depuis 2007 j’assume des vacations à L’école centrale de Lyon pour le suivie de projet d’étude d’élève ingénieur. Régulièrement je prends en charge des stages étudiants (Licence, IUT, BTS et prépa).

2000 : Responsable instrumentation dans un bureau d’étude (ITEC) dans le cadre d’un marché de réalisation de site d’usine avec atmel rousset (distribution des utilitaires fluidiques).

1995 à 1999 : Technicien de maintenance d’instrument de laboratoire médicale (cytomètrie de flux et système d’analyse de sang) puis responsable du service maintenance dans la société IME.

DIVERS
Logiciels
 Pack office
 Delphi, C++, Assembleur
 Labview (développement d’applications, interfaçage d’instrument)
 MPLAB et programmation de microcontrôleur PIC
 TARGET (logiciel de CAO pour l’électronique)
 Dépôt d’une licence CECIL avec le CNRS sur un logiciel d’acquisition de mesure et de traitement de films ou image de diagramme de diffraction.

BOUAZIZ Jordan Doctorant

BOUAZIZ Jordan

Site : ECL / INSA

Equipe : Spectroscopies et Nanomatériaux
ECL : Bâtiment F7, 4ème étage - 04 72 18 60 40
INSA :

CV

► Publications :

● "Huge Reduction of the Wake-Up Effect in Ferroelectric HZO Thin Films"
J. Bouaziz, P. Rojo Romeo, N. Baboux, B. Vilquin
ACS Appl. Electron. Mater. (2019).
https://doi.org/10.1021/acsaelm.9b00367

● "Dramatic impact of pressure and annealing temperature on the properties of sputtered ferroelectric HZO layers"
J. Bouaziz, P. Rojo Romeo, N. Baboux, Raluca Negrea, Lucian Pintilie, B. Vilquin
APL Materials (2019).
https://doi.org/10.1063/1.5110894

● "Characterization of ferroelectric hafnium/zirconium oxide solid solutions deposited by reactive magnetron sputtering"
J. Bouaziz, P. Rojo Romeo, N. Baboux, B. Vilquin
J. Vac. Sci. Technol. B (2019).
https://doi.org/10.1116/1.5060643

► Conferences

● IEEE f2cpi2 ISAF, Lausanne (SWITZERLAND)
Oral - July 2019
A Thorough Study of Ferroelectric Sputtered (Hf, Zr)O2 Solid Solutions

● EMRS Spring Meeting, Nice (FRANCE)
Oral (2talks) - May 2019
Sputtered ferroelectric hafnium/zirconium oxide solid solutions from a single target
Sputtered ferroelectric (Hf,Zr)O2 thin films for fast and low power FRAM applications

● Journées NanoLyon, Lyon (FRANCE)
Oral - Jan 2019 (internal communication)
Sputtered ferroelectric (Hf,Zr)O2 thin films for fast and low power FRAM applications

● JMC - Ferroics Symposium, Grenoble (FRANCE)
Oral - Aug 2018
Sputtered ferroelectric (Hf,Zr)O2 thin films for fast and low power FRAM applications

● GDR OxyFun, Nantes (FRANCE)
Poster - Mar 2018
Deposition of hafnium/zirconium oxides solid solution
by reactive magnetron sputtering for fast and low power ferroelectric devices

● SENSO, Gardannes (FRANCE)
Poster - Nov 2017
Deposition of doped and undoped HfO2
for fast and low energy consumption ferroelectric devices

● Journées CARAT, Lyon (FRANCE)
Poster - Jun 2017 (internal communication)
Structural characterization: comparison between different materials
and a (Hf,Zr)O2 solid solution deposited by magnetron sputtering from a Hf/Zr target

● E-MRS Spring Meeting - Symposium T, Strasbourg (FRANCE)
Poster - May 2017
Comparison between Sputtering and Atomic Layer Deposition (ALD)
of ferroelectric doped and undoped HfO2

English CV

► Publications :

● "Huge Reduction of the Wake-Up Effect in Ferroelectric HZO Thin Films"
J. Bouaziz, P. Rojo Romeo, N. Baboux, B. Vilquin
ACS Appl. Electron. Mater. (2019).
https://doi.org/10.1021/acsaelm.9b00367

● "Dramatic impact of pressure and annealing temperature on the properties of sputtered ferroelectric HZO layers"
J. Bouaziz, P. Rojo Romeo, N. Baboux, Raluca Negrea, Lucian Pintilie, B. Vilquin
APL Materials (2019).
https://doi.org/10.1063/1.5110894

● "Characterization of ferroelectric hafnium/zirconium oxide solid solutions deposited by reactive magnetron sputtering"
J. Bouaziz, P. Rojo Romeo, N. Baboux, B. Vilquin
J. Vac. Sci. Technol. B (2019).
https://doi.org/10.1116/1.5060643

► Conferences

● IEEE f2cpi2 ISAF, Lausanne (SWITZERLAND)
Oral - July 2019
A Thorough Study of Ferroelectric Sputtered (Hf, Zr)O2 Solid Solutions

● EMRS Spring Meeting, Nice (FRANCE)
Oral (2talks) - May 2019
Sputtered ferroelectric hafnium/zirconium oxide solid solutions from a single target
Sputtered ferroelectric (Hf,Zr)O2 thin films for fast and low power FRAM applications

● Journées NanoLyon, Lyon (FRANCE)
Oral - Jan 2019 (internal communication)
Sputtered ferroelectric (Hf,Zr)O2 thin films for fast and low power FRAM applications

● JMC - Ferroics Symposium, Grenoble (FRANCE)
Oral - Aug 2018
Sputtered ferroelectric (Hf,Zr)O2 thin films for fast and low power FRAM applications

● GDR OxyFun, Nantes (FRANCE)
Poster - Mar 2018
Deposition of hafnium/zirconium oxides solid solution
by reactive magnetron sputtering for fast and low power ferroelectric devices

● SENSO, Gardannes (FRANCE)
Poster - Nov 2017
Deposition of doped and undoped HfO2
for fast and low energy consumption ferroelectric devices

● Journées CARAT, Lyon (FRANCE)
Poster - Jun 2017 (internal communication)
Structural characterization: comparison between different materials
and a (Hf,Zr)O2 solid solution deposited by magnetron sputtering from a Hf/Zr target

● E-MRS Spring Meeting - Symposium T, Strasbourg (FRANCE)
Poster - May 2017
Comparison between Sputtering and Atomic Layer Deposition (ALD)
of ferroelectric doped and undoped HfO2

BOURRET Aurélie Technicien

BOURRET Aurélie

BOUSSADI Younes Doctorant

BOUSSADI Younes

BOUSSETTA Lotfi Assistant Ingénieur

BOUSSETTA Lotfi

BOUTEYRE Paul CDD Chercheur

BOUTEYRE Paul

BREMOND Georges Professeur des Universités

BREMOND Georges

Site : INSA

Equipe : Spectroscopies et Nanomatériaux
INSA : Blaise Pascal 2ème étage - 04 72 43 80 66

CV

Georges Brémond, Professeur des universités en Physique opto-électronique, électronique, optronique et systèmes (section 63 du CNU)à l’INSA de Lyon depuis 2001, est chercheur à l’Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL-UMR CNRS 5270). Il y est responsable de l’opération transversale « Développement des outils de nanocaractérisation » de l’INL. Il coordonne la plateforme de nanoscopie CLAMS du CLYM (Centre Lyonnais de Microscopie). Au cours de ses Doctorats d’Ingénieur (1981) et d’Etat (1988), il développe des techniques de spectroscopie électro-optique pour l’étude de la physique des centres profonds dans les semi-conducteurs composés. Chargé de Recherche au CNRS de 1983 à 2001, il contribue au développement de la filière matériau InP, et par la suite (1994-2000), aux matériaux semi-conducteurs massifs photoréfractifs (InP :Fe, CdTe :V). Entre 1991 et 1998, il étudie les propriétés optiques et électroniques des hétérostructures SiGe/Si et contribue à leurs intégrations dans les composants de la microélectronique (TBH, MOSFET) et de l’optoélectronique (photodétecteur, cellule photovoltaïque). En 1996, il a été responsable du groupe « Matériaux et Composants Micro-Optoélectronique » du laboratoire de Physique de la Matière (UMR 5518) de l’INSA de Lyon ou il étudie les propriétés électroniques et optiques induites par les nanostructures Ge/Si ou boites quantiques InAs/InP et les nanocristaux de Si dans des diélectriques. Depuis 2001, il développe des modes originaux de mesures électriques par microscopie à force atomique (AFM) à pointe conductrice pour sonder les propriétés électroniques locales de nanostructures de semi-conducteurs à forte potentialité applicative. Il a développé des procédés technologiques à l’échelle nanométrique basé sur la nanofabrication de structures par nano-oxydation et par nanomanipulation par AFM pour fabriquer des dispositifs démonstrateur d’effets physiques nouveaux. Depuis 2003 il s’est engagé dans l’étude des cellules photovoltaïques dites de 3éme génération et coordonne depuis 2006 un projet ANR-PV sur cette thématique. Il est membre de l’équipe « Spectroscopie et nanomatériaux » de l’INL. L’ensemble de son activité de recherche a donné lieu à plus de 200 publications dans les revues scientifiques et actes de colloques.

English CV

Georges Brémond, Professor of University in physics, opto-electronic, electronic, optronic and systems (section 63 of the CNU) from the INSA (Applied Sciences National Institute) of Lyon since 2001, is a researcher to the Institute of the Nanotechnology of Lyon (INL-UMR CNRS 5270). He is there responsible of the transverse operation " Development of the tools for nanocharacterization " of the INL. He coordinates the platform of nanoscopy CLAMS of the CLYM (Centre Lyonnais de Microscopie). During his Doctorate of Engineer ( 1981 ) and “Dotorat d’Etat” ( 1988 ), he develops the electro-optical spectroscopy techniques for the study of the physics of the deep level centres in the compound semiconductors. Researcher to the CNRS from 1983 till 2001, he contributes to the development of InP, and afterward (1994-2000), of the massive semiconducting photorefractive materials (InP:Fe, CdTe:V). Between 1991 and 1998, he studies the optical and electronic properties of heterostructures SiGe/Si and contributes to their integrations in device of the microelectronics (TBH, MOSFET) and of the optoelectronics (photodetector, photovoltaic). In 1996, he was the head of the group " Matériaux et Composants Micro-Optoélectronique " of the “Laboratoire de Physique de la Matière” (LPM-UMR 5518) of the INSA Lyon where he studies the electronic and optical properties of Ge/Si nanostructures or InAs / InP quantum dots or Si nanocrystals in dielectric. Since 2001, he develops original modes of electric measures by atomic force microscopy (AFM) with conductive tips to sound the local electronic properties of nanostructures of semiconductors with strong application potentiality. He developed technological processes in the nanometric scale based on the nanomanufacturing of structures by nano-oxidation and by nanomanipulation. Since 2003 he is involved in the study of the 3rd generation high efficiency photovoltaic cells and coordinates an ANR-PV project since 2006. He is member of the team " Spectroscopie et nanomatériaux " of INL. Its whole research activity gave rise to more than 200 publications in the scientific journals and acts of symposiums.

Projects

Electronic and optical properties and integration of IV-IV and III-V semiconductor nanostructure by local probe microscopy for nanoelectronic, photonic, photovoltaic devices.

BRICHE Rémi Doctorant

BRICHE Rémi

BRIK Adil Doctorant

BRIK Adil

BROTTET Solène Ingénieur d'Etudes

BROTTET Solène

BRU-CHEVALLIER Catherine Directeur de Recherche

BRU-CHEVALLIER Catherine

Site : INSA / ECL / UCB / CPE

Equipe : Spectroscopies et Nanomatériaux
INSA : Blaise Pascal, 6ème étage - 04 72 43 89 06
ECL : Bâtiment F7, 2ème étage - 04 72 18 60 67

CV

BRU-CHEVALLIER Catherine, Directeur de Recherches CNRS

Diplômée de l’Ecole Normale Supérieure de Cachan
Doctorat 3ème cycle Université Orsay Paris XI (1982),
Doctorat d’état Université Orsay Paris XI (1988)

1982 – 1991 : CR CNRS à l’IEF – Université Paris XI – Thématique : Etude du transport électronique non-stationnaire dans les semiconducteurs III-V.

Directrice de l"INL depuis juillet 2012.
Responsable de l"équipe "Spectroscopie et Nanomatériaux de 2007 à 2012.
Elle est principalement impliquée en spectroscopie optique d’hétérostructures et de nanostructures III-V par photoluminescence et photoréflectance. Ses travaux de recherche portent sur le développement de la résolution spatiale des techniques de spectroscopie optique pour les appliquer de façon localisée afin d’une part de caractériser optiquement des composants (transistors) en fonctionnement et d’autre part d’analyser les recombinaisons radiatives de nanostructures individuelles (boîtes quantiques ou nanofils).
Elle a encadré et co-encadré plus de 19 thèses et a été responsable scientifique de plus de 15 projets de recherche. Elle est auteur et co-auteur de 82 publications internationales, 12 conférences invitées et 70 conférences internationales.
Membre du Comité de programme des JNMO.
Membre du Conseil Scientifique de l"INSA de Lyon 2010-2014
Membre du Conseil Scientifique de l'IRT NANOELEC depuis 2014
Membre du CNU 63ème section 2011-2016
Membre du CoNRS section 08 depuis 2016.

English CV

BRU-CHEVALLIER Catherine, Directeur de Recherches CNRS

ENS Cachan graduate school.
PhD in 1982 at Paris XI University
Thèse d’Etat (1988) Paris XI University

Previous professional experience:
1982 – 1991: CR CNRS at IEF – Paris XI University, Non-stationary electronic transport in III-V semiconductors

INL Director since July 2012.
Head of "Spectroscopy and Nanomaterials" group 2007-2012.

She is mainly involved in optical spectroscopy of III-V heterostructures and nanostructures using photoluminescence as well as photoreflectance spectroscopy. She is developing local optical spectroscopy in order to characterize operating devices (transistors) as well as to study radiative emission from single nanostructures.
She has supervised or co-supervised more than 19 PhD theses and has been scientific leader of 15 research projects. She is author and co-author of 82 international publications, 12 invited conferences, 70 international conferences. CNU member (National University Council) section 63
Scientific Council member at INSA Lyon 2010-2014
CoNRS membre section 08 since 2016

Projects

Optical spectroscopy on semiconducting nanostructures (quantum dots and nanowires) Local spectroscopy on micro-opto-electronic devices. Micro-photoluminescence, micro-photoreflectance

CALLARD Ségolène Professeur des Universités

CALLARD Ségolène

CALMON Francis Professeur des Universités

CALMON Francis

Site : INSA

Equipe : Dispositifs Electroniques
INSA : Blaise Pascal 6ème étage - 04 72 43 61 59

CV

Prof. Francis CALMON (Eng. 1992, Ph.D. 1995, HDR 2006) is Professor at INSA Lyon (Université de Lyon, France), attached to the Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL UMR CNRS 5270), where he is co-head of the “Electronics Devices” group. In the field of innovative concepts in 3D integrated devices and systems, he led several projects e.g. SEDIMOS (Single Electron Device Integration on CMOS Technology) project funded by ANR (France) and NSERC – CRSNG (Canada) and participated to French and European programs (e.g. ANR 3IDEAS, EU CATRENE 3DIM3, EU FP7 INFIERI as WP2 co-leader). Since 2014, Francis Calmon is developing CMOS SPAD detectors and their associated electronics with different approaches CMOS bulk, CMOS FDSOI (ANR project), 3D stacked detectors for charged particle tracking etc. and has published several original papers in that domain.

English CV

Prof. Francis CALMON (Eng. 1992, Ph.D. 1995, HDR 2006) is Professor at INSA Lyon (Université de Lyon, France), attached to the Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL UMR CNRS 5270), where he is co-head of the “Electronics Devices” group. In the field of innovative concepts in 3D integrated devices and systems, he led several projects e.g. SEDIMOS (Single Electron Device Integration on CMOS Technology) project funded by ANR (France) and NSERC – CRSNG (Canada) and participated to French and European programs (e.g. ANR 3IDEAS, EU CATRENE 3DIM3, EU FP7 INFIERI as WP2 co-leader). Since 2014, Francis Calmon is developing CMOS SPAD detectors and their associated electronics with different approaches CMOS bulk, CMOS FDSOI (ANR project), 3D stacked detectors for charged particle tracking etc. and has published several original papers in that domain.

Projects

Projets finished:
- ANR SEDIMOS (Single Electron Device Integration on CMOS Technology) as project leader
- ANR 3IDEAS, EU CATRENE 3DIM3, EU FP7 INFIERI
Current project:
- ANR SPAD FDSOI (3D monolithically integrated SPAD pixels in advanced CMOS FDSOI technology) as project leader, https://inl.cnrs.fr/projects/SPAD-FDSOI/

CALVO Michele Doctorant

CALVO Michele

CANERO-INFANTE Ingrid Chargé de Recherche

CANERO-INFANTE Ingrid

Site : INSA

Equipe : Dispositifs Electroniques
INSA : Bâtiment Blaise Pascal - 6ème étage - 04 72 43 70 03

CV

CNRS Research Scientist CR1 (CR since 2011)
www.researcherid.com/rid/D-4450-2014
EDUCATION
2004-2008 PhD diploma in Materials Sciences (Physics) from the Universitat Autٍmoma de Barcelona. PhD at the Institut de Ciència de Materials de Barcelona ICMAB-CSIC (Bellaterra, Spain). Supervisors J. Fontcuberta and F. Sلnchez. Materials Science PhD program 2007-2008 Award.
1999-2003 Bachelor in Physics, Master in Sciences, at the Physics Faculty of the Universitat de Barcelona (Barcelona, Spain)

PREVIOUS POSITIONS, FELLOWSHIPS
2011-2017 CNRS Research Scientist (15th section) at the SPMS laboratory UMR 8580 CNRS CentraleSupélec (Châtenay Malabry, France)
2015-2017 INTER Mobility FNR Researcher, “FOXCAT: Ferroelectric OXides for photoCATalysis” project at the Luxembourg Institute of Science and Technology, Material Research & Technology Department (Belvaux, Luxembourg)
2010-2011 Associated Professor at the SPMS laboratory UMR 8580, ةcole Centrale Paris, Physics Department (Châtenay Malabry, France)
2008-2010 Post-doctoral position at the Oxydes Fonctionnels, A. Barthélémy’s group, Unité Mixte de Physique UMR137 CNRS-Thalès joint laboratory (Palaiseau, France)
2004-2008 PhD scholarship from the Spanish Ministerio de Educaciَn y Ciencia, FPU AP2003-3124 (Bellaterra, Spain)
2006, 2005 3 and 2 months grants from the Spanish Ministerio de Educaciَn y Ciencia, FPU PhD mobility program, Unité Mixte de Physique CNRS-Thalès, A. Barthélémy’s group (Palaiseau, France)
2003 4 months grant from the CSIC for a scientific internship for last year master students, ICMAB-CSIC, supervisors J. Fontcuberta and F. Sلnchez (Bellaterra, Spain)
2003 6 months undergraduate student internship at the Universitat de Barcelona, Applied Physics and Optics Department, supervisor S. Bosch (Barcelona, Spain)

SUPERVISION OF UNDERGRADUATE AND GRADUATE STUDENTS, AND POSTDOCTORAL FELLOWS
2015-2017 Pavan Nukala postdoc on TEM and EELS characterizations of functional oxides
2012-2016 PhD student Xiaofei Bai (China Scholarship Coucil) at SPMS–UMR CentraleSupélec (co-supervisor B. Dkhil) “Size and doping effect on the structure, transitions and optical properties of multiferroic BiFeO3 particles for photocatalytic applications”
2016-ongoing Loïc Guillemot (DIM OxyMORE Matériaux Oxydes), PhD student at C2N-UMR Univ. Paris Sud (co-supervisor S. Matzen) “Micro-dispositifs oxydes à base de films minces épitaxiés ferroélectriques à actionnement optique”
2015-ongoing Halyna Volkova (Ministère de lʼEnseignement Supérieur, de la Recherche), PhD student at SPMS-UMR CentraleSupélec (co-supervisor B. Dkhil) “Potential photovoltaic and photocatalytic of ferroelectric oxides films and nanoobjects”
2013-2014 Chloé Bouard - last year Engineering project ECP, SPMS UMR-ECP (Châtenay Malabry, France) “Piezo/ferroelectric properties of ferroelectric solid solutions based on Pb(Yb1/2Nb1/2)O3-PbTiO3”
2012-2013 Alexandre Artaud - last year Engineering project ECP, SPMS UMR-ECP (Châtenay Malabry, France) “Ferroelectrics and their properties at the nanoscale”

COMPLETED PROJECTS
2015-2016 PI of the Ile-de-France Regional Project Triangle de la Physique-RTRA "MICMAT: MICroscopie à forces atomiques pour les MATériaux multiferroïques"
2015 PI of the Projet Cellule ةnergie - CNRS "PHOTOFEnergy: Investigation of PHOTOinduced effects in FErroelectric oxides for energy applications”
2014-2015 PI of the Ile-de-France Regional Project for Instrumentation Investment DIMOxymore "Spectrophotomètre environnemental pour l’étude des photoferroélectriques"
TEACHING ACTIVITIES
2016 Part-time lecturer – Master on Chemistry, Engineering for the Health, Biomaterials courses: Characterization tools: Atomic force Microscopy and application to the surfaces of any nature, Institut Galilée Université Paris 13/Odontology Faculty of Université Paris 5 (Paris, France)
2015 Part-time lecturer – last year Engineering practical courses: Photovoltaics in ferroelectrics, CentraleSupélec (Châtenay Malabry, France)
2014 Part-time lecturer – last year Engineering practical courses: At the limit of the physics of solids: the surface, CentraleSupélec (Châtenay Malabry, France)
2012 Part-time lecturer - Quantum Mechanics and Statistical Physics, Nanosciences: Scanning Probe Microscopy techniques, ECP (Châtenay Malabry, France)
2010-2011 Within the Associated Professor position at the ECP: Quantum Mechanics and Statistical Physics; Solid State Physics; Experimental activities (superconductivity); Nanosciences: Scanning Probe Microscopy techniques (Châtenay Malabry, France)
2009 Part-time lecturer – Magnetism and its Applications, NanoMagnetism, Université Paris-Sud 11 (Orsay, France)

PUBLICATIONS
Co-author of 55 referred papers (Web of Science, H-index 19), among them 2 Nature Mater., 2 Nature Comm., 2 Adv. Mater., 1 Sci. Reports, 3 Phys. Rev. Lett., 1 ACS Appl. Mater. & Interfaces, 5 Phys. Rev. B, 14 Appl. Phys. Lett., 6 J. Appl. Phys., 2 J. Phys. : Cond. Matter, 1 J. Appl. Crystallogr. 20 oral presentations and 6 invited lectures

SELECTED PUBLICATIONS
- Ultrafast acousto-optic mode conversion in optically birefringent ferroelectrics. M. Lejman, G. Vaudel, I. C. Infante, et al.. Nature Communications. 7, 12345 (2016)
- Photovoltaics with Ferroelectrics: Current Status and Beyond. C. Paillard, X. Bai, I. C. Infante, et al.. Advanced Materials 28, 5153 (2016)
- Diffuse X-ray scattering from 180° ferroelectric stripe domains: polarization-induced strain, period disorder and wall roughness. A. Boulle, I. C. Infante, and N. Lemée. Journal of Applied Crystallography 49, 845 (2016)
- Size effect on optical and photocatalytic properties in BiFeO3 nanoparticles. X. Bai, J. Wei, B. Tian, Y.Liu, T. Reiss, N. Guiblin, P. Gemeiner, B. Dkhil, and I. C. Infante. Journal of Physical Chemistry C 120, 3595 (2016)

INSTITUTIONAL RESPONSIBILITIES, MEMBERSHIP OF SCIENTIFIC SOCIETIES
Ongoing Member of the Research Network OXYFUN “Oxydes fonctionnels: du matériau au dispositif”
Member of the Research Network REMISOL “REseau MIcroscopies à SOnde Locale”
Member of the Société Française de Physique and European Physical Society
2016-2017 Member of the ANR Evaluation committee CE05 “Production et gestion des énergies renouvelables”
2011-2017 Member of the MATMECA project (French EquipEx funding) Scientific and Advisory Committees, SPMS UMR-ECP (Châtenay Malabry, France)
2011-2017 Manager of the Atomic Force Microscopy installations, SPMS UMR-ECP (Châtenay Malabry, France)
2010-2017 Member of the Advisory and of the Scientific Committees of the SPMS UMR-ECP (Châtenay Malabry, France)

CANTAN Mayeul Doctorant

CANTAN Mayeul

CANUT Bruno Maître de Conférences

CANUT Bruno

Site : INSA

Equipe : Spectroscopies et Nanomatériaux
INSA : Blaise Pascal 2ème étage - 04 72 43 87 34

CV

CANUT Bruno
Né le 13 Décembre 1956 (52 ans) ; nationalité française ; marié
Adresse personnelle: 22, rue Champvert, 69005 Lyon. Tél (33) 4 78 25 07 64

Formation et carrière:

1979 : Ingénieur Physicien-Electronicien (ICPI Lyon)
1980 : DEA Science des Matériaux et des Surfaces (Université Lyon I)
1983 : Thèse Docteur-Ingénieur (Université Lyon I)
1984 : Intégration dans l’enseignement supérieur (assistant)
1993 : Habilitation à diriger les recherches (Université Lyon I)
Situation actuelle : Maître de Conférence (Université Lyon I)
Qualifié Prof. 28ème et 63ème sections.

Compétences scientifiques :

1) Implantation ionique ; effets d’irradiation à haute énergie
2) Caractérisations RBS et canalisation
3) Elaboration de couches minces par voie sol-gel
4) Mesures électriques et optiques.

Enseignement et encadrement :

1) Cours, TD et TP en : Electronique, Electromagnétisme, Propriétés électriques des matériaux, Traitements par faisceaux d’ions et Méthodes nucléaires d’analyse.
2) Encadrement de 3 thèses et de 8 stages DEA ; co-encadrement de 6 thèses.

Dernières publications significatives (depuis 2006) :

1. Incorporation of sol-gel SnO2:Sb into nanoporous SiO2
B. Canut, M.G. Blanchin, S. Ramos-Canut, V.S. Teodorescu, M. Toulemonde
Nucl. Instr. and Meth. B 245 (2006) 327

2. Structure of Ni/SiO2 films prepared by sol-gel dip coating
B. Canut, M.G. Blanchin, V.S. Teodorescu, A. Traverse
Journal of Non-Crystalline Solids, 353 (2007) 2646

3. Nanostructuration of materials with swift heavy ions
B. Canut (- Conférence invité -)
Workshop and School on Materials Science, Nov. 19-30, 2007, Bauru (Brésil)

4. Ion-induced tracks in amorphous Si3N4 films
B. Canut, A. Ayari, K. Kaja, A.L. Deman, M. Lemiti, A. Fave, A. Souifi, S. Ramos
Nucl. Instr. and Meth B, 266 (2008) 2819

5. Swelling and optical properties of Si3N4 films irradiated in the electronic regime
B. Canut, A. Ayari, J. Dupuis, M. Lemiti, A. Fave, S. Ramos
Nucl. Instr. and Meth B, 267 (2009) 917

English CV

CANUT Bruno
Born : 13 December 1956 ; french nationality ; married
Personal address : 22, rue Champvert, 69005 Lyon. Tel (33) 4 78 25 07 64

Education and work experience :

1979 : Electronics Engeneer (ICPI Lyon)
1980 : Master in Material Science and Surfaces (University Lyon I)
1983 : PHD Thesis (University Lyon I)
1984 : First position in higher education (University Lyon I)
1993 : Qualified to research direction (University Lyon I)
Present position : Associate Professor (University Lyon I).

Research fields :

1) Ion implantation ; irradiation effects with swift heavy ions
2) Ion beam analysis (RBS and channeling)
3) Thin films processing with sol-gel technique
4) Electrical and optical characterizations.

Teaching and tutoring :

1) Lectures in : Electronics, Electromagnetism, Electrical Properties of Materials, Ion beam Processing and Material Analysis with Nuclear Techniques.
2) Direction of 3 Thesis and 8 Master training courses ; codirection of 6 Thesis.

Last significant publications (since 2006) :

1. Incorporation of sol-gel SnO2:Sb into nanoporous SiO2
B. Canut, M.G. Blanchin, S. Ramos-Canut, V.S. Teodorescu, M. Toulemonde
Nucl. Instr. and Meth. B 245 (2006) 327

2. Structure of Ni/SiO2 films prepared by sol-gel dip coating
B. Canut, M.G. Blanchin, V.S. Teodorescu, A. Traverse
Journal of Non-Crystalline Solids, 353 (2007) 2646

3. Nanostructuration of materials with swift heavy ions
B. Canut (- Invited Conference -)
Workshop and School on Materials Science, Nov. 19-30, 2007, Bauru (Brésil)

4. Ion-induced tracks in amorphous Si3N4 films
B. Canut, A. Ayari, K. Kaja, A.L. Deman, M. Lemiti, A. Fave, A. Souifi, S. Ramos
Nucl. Instr. and Meth B, 266 (2008) 2819

5. Swelling and optical properties of Si3N4 films irradiated in the electronic regime
B. Canut, A. Ayari, J. Dupuis, M. Lemiti, A. Fave, S. Ramos
Nucl. Instr. and Meth B, 267 (2009) 9

Projects

Nanostructures for microelectronic applications based on swift heavy ion irradiation.
Material analysis by nuclear techniques (RBS, channeling, NRA).

CARREL Laurent Ingénieur d'Etudes

CARREL Laurent

CELLIER Rémy Maître de Conférences

CELLIER Rémy

CHATEAUX Jean-François Maître de Conférences

CHATEAUX Jean-François

Site : UCB

Equipe : Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
UCB : Léon Brillouin RDC - 04 72 43 14 37

CV

Jean-François Chateaux a obtenu son DEA en Instrumentation et Microélectronique en 1994 à l"Université Henri Poincaré de Nancy. Il est par la suite devenu titulaire d"une thèse de doctorat en Instrumentation et Microélectronique dans la même université. Son travail portait alors sur la conception, la réalisation et l"exploitation d"un banc de mesure des propriétés électriques du tissu osseux à basses fréquences, plus précisément dans la gamme allant de 100 Hz à 1 MHz. Il est recruté en 2001 en tant que Maître de Conférences au Laboratoire d"Electronique, Nanotechnologie et Capteurs de l"Université Claude Bernard à Lyon avant que celui-ci ne devienne partie intégrante de L"INL en 2007. Son activité d"enseignement porte sur l"électronique numérique et analogique et s"effectue à l"IUT de Villeurbanne. Après avoir travaillé au développement d"un étage de micro spectroscopie par RMN intégrable dans un laboratoire sur puce, il se focalise actuellement sur le développement de microsystèmes microfluidiques à base de polymères électro-actifs. Ces centres d"intérêt vont également à la réalisation de microsystèmes pour la manipulation à l’échelle de cellules biologiques uniques.

English CV

Jean-François Chateaux received the MS degree in electrical engineering in 1994 from University Henri Poincaré, Nancy, France. He obtained his PhD in Instrumentation and Microelectronics on 2000 for his work on electrical properties of bone at low frequencies (between 100 Hz and 1 MHz). In 2001, he is recruited as an associate professor at the LENAC, a laboratory which will be integrated in the Lyon Institute of Nanotechnology (INL) on 2007. His present work is focused on the development of microfluidic microsystems based on electroactive polymers, on micro-NMR-spectroscopy for lab-on-chip and microfluidic devices for single cell manipulation.

Projects

Nano-composites electroactive polymers for micro-actuating
Microfluidic microsystems for cells manipulations and caracterisation.

CHAUVIN Nicolas Chargé de Recherche

CHAUVIN Nicolas

CHEN Xiushna Doctorant

CHEN Xiushna

CHEVALIER Céline Ingénieur de Recherche

CHEVALIER Céline

CHEVOLOT Yann Directeur de Recherche

CHEVOLOT Yann

Site : ECL

Equipe : Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
ECL : Bâtiment F7 - 3ème étage - 04 72 18 62 40

CV

Diplômes - Qualifications - Titres

1991-93 Maîtrise science et technique des biotransformations appliquées à l’agroalimentaire (Université de Nantes, mention assez bien).

1993-94 Diplôme d’études approfondies sur la qualité des bioproduits (Université de Nantes - INAPG, mention assez bien).

1996-99 Doctorat ès sciences techniques (Suisse, Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne, Laboratoire de Métallurgie Chimique).

Activités de recherche - Mobilité

1994 Stage de DEA (9 mois) à l’Université de Sussex (GB). Synthesis of steroids and study of their biotransformations by Cephalosporium aphidcola .

1994-96 Service national.

1996-99 Travail doctoral de recherche (3 ans) dans le domaine des biomatériaux à l’EPFL sous la direction du Pr. H. J. Mathieu. Réalisation de l’immobilisation de saccharides, de leurs élongations par semi-synthèse, d’essais biologiques.

1999 Travail de recherche (6 mois) sur les biosenseurs à ADN au Centre Suisse d’Electronique et Microtechnique S. A. (Suisse). Développement d’une technique d’immobilisation et d’amplification enzymatique du signal.

2000-01 Premier assistant du Pr. H. J. Mathieu (Groupe d’analyse de surface - LMCH) à l’EPFL. Trois activités principales :
- Contrôle de l’adhésion de Pseudomonas aeruginosa sur les tuyaux d’intubation en PVC.
- Responsable du spectromètre de masse (ToF-SIMS) et des analyses de service.
- Installation d’un nouveau spectromètre de photoélectrons de rayons X.

2001-2004 Ingénieur de recherche, Goëmar SA à Saint Malo. Activités principales :
- Responsable opérationnel pour la mise en place d’une banque d’éliciteurs des défenses végétales.
- Travail sur la purification et l’élucidation de la structure d’oligosaccharides issus de la digestion enzymatique de polysaccharides.
- Conseiller pour les projets relatifs aux biomatériaux.

2004 Chargé de recherche 1ere classe CNRS. Equipe « chimie et Nanobiotechnologie »-Institut des Nanotechnologies de Lyon- UMR 5270 CNRS/ECL/INSA/UCB

English CV

Diplomas -

1987 High School degree: math and physics (Baccalauréat C).

1991-93 Master I (MST in Science and technology in biotransformations, Université de Nantes, mention “assez bien”).

1993-94 Master II (DEA “Bioproduct’s quality” (Université de Nantes - INAPG, mention « assez bien »).

1996-99 PhD (ةcole Polytechnique Fédérale de Lausanne, Laboratoire de Métallurgie Chimique, Switzerland).

Research internships and professional activities

1994 Internship (DEA, 9 months) at the University of Sussex (GB):
“Synthesis of steroids and study of their biotransformations by Cephalosporium aphidcola”.

1994-96 National service.

1996-99 Ph.D. (3 years) at EPFL in biomaterial, under the supervision of Pr. H. J. Mathieu: “Surface photo immobilization of aryl diazirine containing carbohydrates – Tools toward surface glycoengineering”.

1999 Fellowship (6 months) on DNA biosensors at the Centre Suisse d’Electronique et Microtechnique S. A. (Switzerland): “Development of a technique for immobilization and enzymatic-based signal amplification”.

2000-01 First assistant to Pr. H. J. Mathieu (Groupe d’analyse de surface - LMCH), EPFL. Principal activities :
- Control of surface adhesion of Pseudomonas aeruginosa in PVC intubation vessels
- Responsible for the mass spectrometer (ToF-SIMS) operation and data analysis.
- Installation of new X-ray spectrometer.

2001-2004 Research engineer at Goëmar SA (Saint Malo).
- Responsible for setting up a vegetable crop defense elicitor library.
- Work on purification and discovery of the structure of oligosaccharides resulting from the enzymatic digestion of polysaccharides.
- Advisor for biomaterials related projects.

2004- CNRS Researcher (1st class) at the CNRS, Chemistry and Nanobiotechnology team, at the Lyon Institute of Nanotechnology - UMR 5270 CNRS/ECL/INSA/UCB.

Projects

- Glycoarray (carbohydrate Microarray) Coll. IBMM (UMR 5247); ICBMS (UMR 5246), VirPath (FRE 3011), X. Chen Université de Caifornie Davis)
- Glass etching (Coll. R. Mazurczyk)
- Surface chemistry ( Coll. V. Dugas, D. Léonard, ISA (UMR 5180))
- Development of new photonique transducers (Coll. Département Photonique INL, Université de Sherbrook, Laboratoire Charles Fabry (UMR 8501))
- Purification and surface modification of SiC nanoparticles (Coll. Département Matériaux INL, Université de Kiev.

CLOAREC Jean-Pierre Professeur des Universités

CLOAREC Jean-Pierre

Site : ECL

Equipe : Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
ECL : Bât. F7 - 3ème étage - 04 72 18 62 52

CV

Professeur de l’Ecole Centrale de Lyon dans le département STMS, équipe Chimie.
Institut des Nanotechnologies de Lyon, Equipe de recherche « Chimie et Nanobiotechnologies». Animateur du groupe de travail "Pédagogies" de l"ECL.

2012-2014 Délégation CNRS au LN2, Unité Mixte Internationale 3463 CNRS Université de Sherbrooke ECL INSA lyon CPE UJF, Sherbrooke (Québec) Co-Responsable des axes « BioMEMS » et "Ethique, Usages et Sociétés"

2008 Chercheur invité au laboratoire de Biophotonique et d’Optoélectronique, Centre de Nanofabrication et Nanocaractérisation de l’Université de Sherbrooke, Canada (8 mois).

2004 Habilitation à Diriger les Recherches de l"Ecole Centrale de Lyon, section 33 du CNU (Chimie des Matériaux).

2000 Maître de conférences à l"Ecole Centrale de Lyon.

1998-2000 Post doctorat : CNRS/Sanofi Diagnostics Pasteur, UMR CNRS 5621, Laboratoire d’Ingénierie et Fonctionnalisation des Surfaces, Ecole Centrale de Lyon.

1997 Thèse de Doctorat de l’Ecole Centrale de Lyon, spécialité Génie des Matériaux. Mention Très Honorable avec félicitations du jury.

1994 DEA Génie Biologique & Médical, Université Claude Bernard Lyon I.

1993 Ingénieur chimiste ICPI Lyon.

English CV

Full professor at Ecole Centrale de Lyon, Department STMS, team Chemistry.
Institut des Nanotechnologies de Lyon, research group "chemistry and Nanobiotechnology».

2012-2014 CNRS delegation in UMI LN2 Université de Sherbrooke (Quebec). Co-head of "bioMEMS" and "Ethics, Uses and Societies"

2008 Invited researcher in laboratory for Biophotonics and Optoelectronics, Center for Nanofabrication and Nanocharacterisation, University of Sherbrooke, Quebec, Canada (8 months).

2004 "Habilitation à Diriger les Recherches" from Ecole Centrale de Lyon

2000 Associate professor at Ecole Centrale de Lyon.
1998-2000 Post-doctorate : CNRS/Sanofi Diagnostics Pasteur, UMR CNRS 5621, Laboratoire d’Ingénierie et Fonctionnalisation des Surfaces, Ecole Centrale de Lyon.

1997 Doctorate from Ecole Centrale de Lyon in Material Engineering.

1994 DEA Medical and Biological engineering, Université Claude Bernard Lyon I.

1993 Chemical engineer, ICPI Lyon.

Projects

Biosensors, biochips, surface functionalisation, nanotechnology by bottom-up approaches, societal impacts of nanotechnology

CREMILLIEU Pierre Assistant Ingénieur

CREMILLIEU Pierre

CUEFF Sébastien Chargé de Recherche

CUEFF Sébastien

D'ESPERONNAT Marc Doctorant

D'ESPERONNAT Marc

DALLEAU Thomas Doctorant

DALLEAU Thomas

DANESCU Alexandre Maître de Conférences

DANESCU Alexandre

DANG Ha My Nguyen Doctorant

DANG Ha My Nguyen

DE PINHO FERREIRA Nicolas Doctorant

DE PINHO FERREIRA Nicolas

DEGOUTTES Jérôme Technicien

DEGOUTTES Jérôme

DELERUYELLE Damien Professeur des Universités

DELERUYELLE Damien

Site : INSA

Equipe : Dispositifs Electroniques
INSA : Blaise Pascal 6ème étage - 04 72 43 89 62

CV

English CV

Damien Deleruyelle is full professor at INSA Lyon (France). He graduated from Grenoble Institute of Technology in 2001, obtained the PhD degree in Micro/Nano Electronics in 2004 from Aix-Marseille University. His research activities concern emerging memory technologies (RRAM, FeRAM, NC-Flash, …) spanning from multi-scale electrical characterization up to physical modeling and simulation. From 2005 to 2016 he served as associate professor at Aix-Marseille and headed the Memory group of Im2np (Institut Matériaux Microélectronique Nanoscience de Provence, Marseille, France) in 2016. During this period, he has been involved as project leader or contributor in several project funded either by the French National Research Agency or the European Community. These projects were concerning Nanocrystal-based memories (MEMOIRE, ANR-05-PNANO-043-01), the development of resistive memories for flexible electronics applications (REFLEX, ANR-11-JS03-008-1) and Resistive RAM memories (EMMA, FP6 IST, no. 33751). In 2016 he moved to INL (Institut des Nanotechnologies de Lyon, France) were he is currently working on polymer-based memories for flexible electronics and Ferroelectric Memories under the EU project grant 3eFerro (H2020, no. 33751780302). He his author and co-author of more than 40 papers published in international journals or conferences and 3 book chapters. He also served as conference organizer or scientific committee for the E-MRS Symposium and the IEEE International Memory Workshop (Since 2012). Physical and compact modelling of emerging devices (RRAM, CBRAM, FeRAM, Selector devices) Electrical characterization

Projects

Ongoing: 3eFerro (H2020, no. 33751780302, 2018-2021) Joint-project with STMicroelectronics: "Emerging Memories based on ferroelectric HfO2" IPCEI Nano 2022 (2020-2022) Past: REFLEX, ANR-11-JS03-008-1 (2012-2014) EMMA, FP6 IST, no. 33751 (2006-2008) MEMOIRE, ANR-05-PNANO-043-01 (2005-2008)

DELLA TORRE Alberto Doctorant

DELLA TORRE Alberto

DEMAN Anne-Laure Maître de Conférences

DEMAN Anne-Laure

DEMONGODIN Pierre Doctorant

DEMONGODIN Pierre

DESCAMPS Lucie Doctorant

DESCAMPS Lucie

DEVIF Brice Technicien

DEVIF Brice

DOYEUX Yvan Assistant Ingénieur

DOYEUX Yvan

DROUARD Emmanuel Maître de Conférences

DROUARD Emmanuel

DUFAUT Patricia Adjoint technique

DUFAUT Patricia

DUMONT Hervé Maître de Conférences

DUMONT Hervé

DUMOULIN Jérémy Doctorant

DUMOULIN Jérémy

DUPUIS Etienne Doctorant

DUPUIS Etienne

DURSAP Thomas Doctorant

DURSAP Thomas

EL WHIBI Seif CDD ITA

EL WHIBI Seif

ESTEVES Josué CDD Chercheur

ESTEVES Josué

FAIVRE Magalie Chargé de Recherche

FAIVRE Magalie

FAVE Alain Maître de Conférences

FAVE Alain

Site : INSA

Equipe : i-lum
INSA : Blaise Pascal 2ème étage - 04 72 43 84 64

CV

Alain FAVE
Maître de conférences, section CNU 63
Institut des Nanotechnologies de Lyon, INL UMR 5270, INSA de Lyon
7, av. Jean Capelle, bât. Blaise Pascal, F-69621 VILLEURBANNE CEDEX
Tél. : 04 72 43 84 64 Fax : 04 72 43 85 31
E.mail :

Département : Nanophotonique/Photovoltaïque
Equipe : Photovoltaïque

Formations et diplômes :
- DEA (1992) "Dispositifs de l’Electronique Intégrée", option "Circuits et Interfaces de l’Electronique", INSA Lyon.
- Thèse (1996), LPM INSA Lyon : " « Etude et réalisation par épitaxie en phase liquide de convertisseurs photovoltaïques de puissance en GaAs pour la télé-alimentation »intégrés sur silicium" (Directeur Pr. André laugier).
- Post-doc à l’Electrotechnical Laboratory de Tsukuba, Japon (1997-98, STA). «Croissance de Nitrure de Gallium (GaN) par Epitaxie par Jets Moléculaires (MBE) sur substrats de saphir et propriétés électriques»
Situations professionnelles :
- Depuis le 01/09/2001 : Maître de conférences au département Sciences et génie des Matériaux (SGM) de l’INSA de Lyon
- Institut des Nanotechnologies de Lyon, Equipe Photovoltaïque
Enseignement en SGM:
- Physique Statistique (Cours et TD)
- Matériaux semi-conducteurs, Signaux et systèmes (TD et TP)
- Capteurs (TD)
Encadrements, jurys :
- Co-encadrement de 4 thèses
- Encadrement de 2 post-doctorants, 12 Projets de Fin d"Etudes, 3 stages de DEA, 5 stages de DUT.

Activités administratives et responsabilités collectives :
- Responsable de la thématique « Micro and Nano scale Materials and Devices » du Laboratoire International Associé «ELyT-Lab», INSA-Lyon, ECL, Tohoku University, depuis décembre 2008.
- Co-responsable des échanges académiques au département SGM
- Membre du comité pédagogique pour le double diplôme entre l’INSA-Lyon et l’Université de Tohoku (Japon). - Elu rang B au conseil scientifique (2009)
- Expert OMNT « Energie Photovoltaïque »
- Expertise ANR: HABISOL

FERRIER Lydie Maître de Conférences

FERRIER Lydie

FERRIGNO Rosaria Professeur des Universités

FERRIGNO Rosaria

Site : UCB

Equipe : Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
UCB : Bât. Léon Brillouin RDC - 04 72 43 19 23

English CV

Rosaria Ferrigno
Born on February 17th, 1971 Professor
Laboratory Lyon Institute of Nanotechnology
Phone number 04 72 43 19 23
Mail
Education
1994 Graduate of Ecole Nationale Supérieure d’Electrochimie et d’Electrométallurgie de Grenoble, INP Grenoble
1998 Ph. D. thesis, Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne, Switzerland
Professional experience
1998-2001 Postdoctoral fellow, Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne, Suisse
2001-2003 Postdoctoral fellow, Harvard University, USA
Since 2003 Professor, Université Claude Bernard Lyon 1
Currently working at the Lyon Institute of Nanotechnology
Publications/Distinctions
1 book chapter, 41 articles in peer-reviewed journals (H= 14, Q = 729), 4 patents
4 invited conferences

Award from the French Society of Chemistry : Young Electrochemist (2003)

5 Publications of the last 5 years :
1. K. Stephan, P. Pittet, M. Sigaud, L. Renaud, O. Vittori, P. Morin, N. Ouaini and R. Ferrigno, The Analyst, (accepted).
2. K. Dhouib, C. Khan-Malek, W. Pﬂeging, B. Gauthier-Manuel, R. Duffait, G. Thuillier, R. Ferrigno, L. Jacquamet, J. Ohana, J.-L. Ferrer, A. Théobald-Dietrich, R. Giegé, B. Lorber, C. Sauter, Lab-Chip (2009), DOI:10.1039/B819362B.
3. C. Cottin-Bizonne and R. Ferrigno, Colloids, Biotechnology and Microfluidics in Colloidal nanoparticles in biotechnology, Ed. A. Elaissari, Wiley, (2008) pp. 199.
4. Sauter, Claude, Lorber, Bernard, Giege, Richard , Theobald-dietrich, Anne, Kahn-malek, Chantal Gauthier-manuel, Bernard, Thuillier, Gael, Rosaria Ferrigno, MICROFLUIDIC DEVICE FOR CRYSTALLIZATION AND CHRYSTALLOGRAPHIC ANALYSIS OF MOLECULES, WO/2008/009823A2.
5. K. Stephan, P. Pittet, L. Renaud, P. Kleimann, P. Morin, N. Ouaini, R. Ferrigno, J. Micromechanics and Microengineering, (2007) vol. 17, pp. N69.

Projects

Microfluidics, Lab-on-a-Chip
Micro and Nanofabrication
Elctrochemistry and Mirofluidics
Biology and Microfluidics

FIABOE Kokou Firmin Doctorant

FIABOE Kokou Firmin

FOLTZER Emmanuelle Assistant Ingénieur

FOLTZER Emmanuelle

FORNACCIARI Benjamin Assistant Ingénieur

FORNACCIARI Benjamin

FOURMOND Erwann Maître de Conférences

FOURMOND Erwann

FREYERMUTH Hugo Doctorant

FREYERMUTH Hugo

GAETANI Robin CDD ITA

GAETANI Robin

GAFFIOT Frédéric Professeur des Universités

GAFFIOT Frédéric

GAIGNEBET Nicolas Doctorant

GAIGNEBET Nicolas

GALVAN Jean-Marc Maître de Conférences

GALVAN Jean-Marc

GAO Shaochen Doctorant

GAO Shaochen

GAUTIER Brice Professeur des Universités

GAUTIER Brice

Site : INSA

Equipe : Dispositifs Electroniques
INSA : Blaise Pascal 6ème étage - 04 72 43 70 03

CV

Professeur des Universités
Ingénieur INSA, Doctorat de l"INSA de Lyon.
1997-2002 : Maitre de conférences à l"Université de Franche Comté, IUT Belfort-Montbéliard, Centre de Recherche sur les Ecoulements, les Surfaces et les Transferts (CREST), devenu depuis FEMTO-ST, département CREST, Montbéliard
2002-2008 : Maitre de conférences à l'INSA de Lyon, Laboratoire de Physique de la Matière, devenu INL, Villeurbanne.
Habilité à Diriger les Recherches en 2006.
Depuis 2008 : Professeur des Universités
Responsable avec Francis Calmon de l"équipe "Dispositifs Electroniques"

Président C'NANO du club de nanométrologie : http://club-nanometrologie.fr Enseignement au premier cycle de l"INSA de Lyon, discipline : physique.
Responsable de la discipline physique au département FIMI (Formation Initiale aux Métiers d'Ingénieur)

English CV

Professor
INSA (National Institute of Applied Sciences) Engineer, thesis degree from INSA.
From 1997 to 2002 : Assistant Professor at the University of Franche Comte, IUT Belfort Montbeliard, Centre de Recherche sur les Ecoulements, les Surfaces et les Transferts (CREST), now : FEMTO-ST, département CREST, Montbéliard.
2002 - 2008 : Assistant Professor at INSA, Lyon, Materials Physic Laboratory (LPM), now INL : Lyon Institute of Nanotechnology.
Since 2008 : Professor.
Obtained the accreditation to supervise research (HDR thesis) in 2006.
Responsible with Francis Calmon of the "Electronic Devices" team of the INL
Head of Nanometrology Club for the CNANO network : http://club-nanometrologie.fr

Teaching : theoretical physics (first two years of INSA), in charge of the physics department at FIMI (Initial Formation for Engineers).

Projects

* Nanoscale caracterisation of the electrical properties by means of technics deriving from the Atomic Force Microscope (AFM) * Nanoscale caracterisation of the piezoelectric and ferroelectric properties of thin films by AFM, especially by Piezoresponse Force Microcospy (PFM). Physics of ferroelectrics, engineering of ferroelectric domains for future devices. * Detection, mapping and quantification of dopants in semiconductors. Application to the devices of the microelectronics.
* Physico-chimical caracterisation of the semiconductors by SIMS (Secondary Ions Mass Spectrometry). Depth resolution, deconvolution techniques.

GEHIN Thomas Ingénieur de Recherche

GEHIN Thomas

GEHIN Claudine Maître de Conférences

GEHIN Claudine

Site : INSA

Equipe : Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
INSA : Léonard de Vinci RDC - 04 72 43 89 88

CV

Associate Professor at the French National Institute of Applied Sciences (INSA) since 1999, she lectures on electronics at the Electrical Engineering Department of INSA. She joined the Biomedical Sensors Group of the Nanotechnologies Institute of Lyon (UMR 5270 CNRS INSA Lyon) in 2003.
Her area of speciality is the research and design of novel, non-invasive biomedical sensors dedicated to thermal, neuro-vascular and bio-mechanical (interface pressure) measurement. These methodologies are used for the study of vigilance, stress, emotional reactivity, and used during the monitoring of performances while undergoing cognitive tasks, the driving of cars, planes etc.; of responses to sensorial stimuli (odors, taste …) and to thermal discomfort..
She is responsible for the theme «CaVeRHis» (Sensors, Smart Clothes and Smart Home for Health) in the French research group GDR Stic-Santé. She is member of the AdCom of the French Society of Biomedical Engineering (SFGBM) since 2005. She is member of the advisory committee of the French National Research Agency for the program : ‘Technologies for health and autonomy (TecSan)’ in 2007 and 2008.
She is also involved in IEEE activities in the field of Biomedical Engineering : she was Executive secretary of the 29th annual conference of IEEE «Engineering in Medicine and Biology Society» EMBS - Lyon 2007 (2000 participants) and now, President of the French Chapter IEEE-EMBS (2009- 2010).

English CV

Associate Professor at the French National Institute of Applied Sciences (INSA) since 1999, she lectures on electronics at the Electrical Engineering Department of INSA. She joined the Biomedical Sensors Group of the Nanotechnologies Institute of Lyon (UMR 5270 CNRS INSA Lyon) in 2003.
Her area of speciality is the research and design of novel, non-invasive biomedical sensors dedicated to thermal, neuro-vascular and bio-mechanical (interface pressure) measurement. These methodologies are used for the study of vigilance, stress, emotional reactivity, and used during the monitoring of performances while undergoing cognitive tasks, the driving of cars, planes etc.; of responses to sensorial stimuli (odors, taste …) and to thermal discomfort..
She is responsible for the theme «CaVeRHis» (Sensors, Smart Clothes and Smart Home for Health) in the French research group GDR Stic-Santé. She is member of the AdCom of the French Society of Biomedical Engineering (SFGBM) since 2005. She is member of the advisory committee of the French National Research Agency for the program : ‘Technologies for health and autonomy (TecSan)’ in 2007 and 2008.
She is also involved in IEEE activities in the field of Biomedical Engineering : she was Executive secretary of the 29th annual conference of IEEE «Engineering in Medicine and Biology Society» EMBS - Lyon 2007 (2000 participants) and now, President of the French Chapter IEEE-EMBS (2009- 2010).

GIGLIA Valentin Doctorant

GIGLIA Valentin

GLORIES Henri-Gabriel Doctorant

GLORIES Henri-Gabriel

GONCALVES Sylvie Assistant Ingénieur

GONCALVES Sylvie

GONTRAND Christian Professeur des Universités

GONTRAND Christian

Site : INSA

Equipe : Dispositifs Electroniques
INSA : Blaise Pascal 6ème étage - 04 72 43 80 67

CV

Christian GONTRAND was born in Montpellier, France, on February 21, 1955 A.C .
He received the M.S, Ph.D and the State Doctorate degree, respectively in 1977, 1982 and 1987, in electronics, from the Université des Sciences et Techniques du Languedoc, Montpellier , France.
From 1982 to 1984, He has been working with the Thomson “Laboratoire Central de Recherche“(LCR), Orsay, where his areas of interest included theoretical (electrical transport) and experimental (noise) of microwave devices (TEGFETs/HEMTs).
From 1988, he joined the laboratoire de Physique de la Matière (LPM/INSA), Villeurbanne, as a Research Assistant Professor. From 1988 to 1996, He had the technical charge of the new “Centre de Microélectronique de la Région Lyonnaise” (CIMIRLY), and worked on new RF compatible silicon devices, in collaboration with the Centre National des Etudes en Telecommunication (CNET), Meylan.
From 1997 to 2001, as a Professor in semiconductor devices and circuits, he was at the head of the team “Smart System Integration”, at the “Centre de Génie Electrique de Lyon” (CEGELY); In September 2001, he created the team “Radiofrequency Devices, Circuits and Systems” of the LPM/INL; his fields of interest are: noises or parasitic disturbances in heterogenic 2D or 3D RF circuits and systems.

English CV

Christian GONTRAND was born in Montpellier, France, on February 21, 1955 A.C .
He received the M.S, Ph.D and the State Doctorate degree, respectively in 1977, 1982 and 1987, in electronics, from the Université des Sciences et Techniques du Languedoc, Montpellier , France.
From 1982 to 1984, He has been working with the Thomson “Laboratoire Central de Recherche“(LCR), Orsay, where his areas of interest included theoretical (electrical transport) and experimental (noise) of microwave devices (TEGFETs/HEMTs).
From 1988, he joined the laboratoire de Physique de la Matière (LPM/INSA), Villeurbanne, as a Research Assistant Professor. From 1988 to 1996, He had the technical charge of the new “Centre de Microélectronique de la Région Lyonnaise” (CIMIRLY), and worked on new RF compatible silicon devices, in collaboration with the Centre National des Etudes en Telecommunication (CNET), Meylan.
From 1997 to 2001, as a Professor in semiconductor devices and circuits, he was at the head of the team “Smart System Integration”, at the “Centre de Génie Electrique de Lyon” (CEGELY); In September 2001, he created the team “Radiofrequency Devices, Circuits and Systems” of the LPM/INL; his fields of interest are: noises or parasitic disturbances in heterogenic 2D or 3D RF circuits and systems.

Projects

Microwave devices, heterogenic 2D or 3Dcircuits and systems, telecom firmware

GONZALEZ CASAL Sergio Doctorant

GONZALEZ CASAL Sergio

GOURE Jean-Baptiste Technicien

GOURE Jean-Baptiste

GREGOIRE Joëlle Assistant Ingénieur

GREGOIRE Joëlle

GRENET Geneviève

GRILLET Christian Chargé de Recherche

GRILLET Christian

GUILLOT Gérard

GUIRAL Pierrick CDD Chercheur

GUIRAL Pierrick

HAN Dong Doctorant

HAN Dong

HUSSAIN Syed Harris Doctorant

HUSSAIN Syed Harris

ISSARTEL Dylan Doctorant

ISSARTEL Dylan

JAFFAL Ali Doctorant

JAFFAL Ali

JAMOIS Cécile Chargé de Recherche

JAMOIS Cécile

Site : INSA / ECL

Equipe : i-lum
INSA : Bâtiment Blaise Pascal - 2ème étage - 04 72 43 71 53
ECL : Bâtiment F7, 4ème étage -

CV

Née en 1977, diplôme en génie physique, microélectronique et matériaux de l"INSA de Rennes en 2000.
Thèse de doctorat à l"Institut Max-Planck de Halle/Saale (Allemagne) sur la réalisation de guides d"ondes à cristaux photoniques sur SOI pour la compensation de dispersion (2000-2004).
Post-doctorat à l"université de Surrey (UK) sur l"étude et la conception de dispositifs à cristaux photoniques (2004-2006). Co-encadrement d"une thèse sur la conception de surfaces accordables à base d"opales (2004-2007).
Depuis 2006, chargée de recherche CNRS à l"INL dans l"équipe Nanophotonique. Travaux de recherche principalement sur les dispositifs photoniques sur Si et Si poreux pour la détection biologique et chimique. Co-encadrement de thèses : Nouvelle filière nanotechnologique sur silicium poreux : Application à des dispositifs photoniques (2006-2009) ; Réalisation de biocapteurs photoniques sur silicium poreux (projet ANR BiPBiP 2009-2013) ; Nanostructures hybrides de nanoantennes papillons sur interféromètre Fabry-Perot pour un nouveau type de capteur biochimique optique (2010-2013) ; Pinces optiques à base de composants nanophotoniques (2012-présent) ; Biocapteurs à cristaux photoniques sur silicium (2013-présent).

English CV

Born in 1977, degree in physical engineering from INSA de Rennes in 2000.
PhD thesis at the Max-Planck Institute in Halle/Saale (Germany) on the realization of SOI-based photonic crystal waveguides for dispersion compensation (2000-2004).
Post-doc at the University of Surrey (UK) on modelling of photonic-crystal-based devices (2004-2006). Co-supervision of a PhD thesis on the design of opal-based switchable surfaces (2004-2007).
Since 2006, CNRS researcher in the Nanophotonics group at the INL, with research activities mainly on Si and porous-Si based photonic devices for biological and chemical sensing applications. PhD-thesis co-supervision: Porous silicon nanotechnology for the realization of photonic devices (2006-2009) ; Realization of photonic biosensors on porous silicon (ANR project BiPBiP 2009-2013) ; A novel optical bio-chemical sensor based on hybrid nanostructures of bowtie Nanoantennas and Fabry-Perot interferometer (2010-2013) ; Optical tweezers based on nanophotonic devices (2012-present) ; Si-based photonic crystal biosensors (2013-present).

Projects

Photonics on silicon and porous silicon with applications in the area of biological and chemical sensing.
Design and realization of devices based on SOI and porous silicon, micro-machining of metals, electron microscopy.

JOBERT Gabriel Doctorant

JOBERT Gabriel

JOHN Jimmy Doctorant

JOHN Jimmy

JOLY François Ingénieur d'Etudes

JOLY François

KEMPF Eva Doctorant

KEMPF Eva

KHEIR ALDINE Ali Doctorant

KHEIR ALDINE Ali

KLEIMANN Pascal Maître de Conférences

KLEIMANN Pascal

LABRAK Lioua Maître de Conférences

LABRAK Lioua

LAGARDE Virginie Adjoint technique

LAGARDE Virginie

LAGUNA Camille Doctorant

LAGUNA Camille

LAURENCEAU Emmanuelle Maître de Conférences

LAURENCEAU Emmanuelle

Site : ECL

Equipe : Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
ECL : F7 3ème étage - 04 72 18 62 40

CV

Née le 7 mars 1969, à Paris (France)

 Depuis septembre 2004 : Maître de Conférences à l’Ecole Centrale de Lyon
Enseignements de Chimie (1ère année), de Biologie et Biotechnologie (3ème année)
Enseignements en Master « Ingénierie du diagnostic in vitro » (Grenoble), « Ingénierie pour la santé et le médicament » (Lyon I), « Nanoscale Engineering » (Master international, ECL)
 2002-2004 : Délégation CNRS au Laboratoire des Systèmes Macromoléculaires et Immunovirologie Humaine (UMR CNRS 2714-bioMérieux)
Thématique : Couplage orienté d’anticorps anti-VIH sur supports polymères
 1997-2002 : Maître de Conférences à l’Institut Galilée (Université Paris 13)
Enseignements de Chimie (DEUG SM, Formation Supérieure d’Ingénieur Matériaux), de Biologie (Licence pluridisciplinaire), de Biotechnologie (DEA Génie Biologique et Médical)
Activités de recherche développées au Laboratoire de Recherche sur les Macromolécules (UMR CNRS 7540), concernant l’étude des interactions polymères-virus et polymère-anticorps anti-viraux
 1995-1996 : Post-doctorat à l’Université de Twente (Pays-Bas), au sein du Département de Chimie des Biomatériaux.
Thème de recherche : Expression des molécules d’adhésion de cellules endothéliales en culture sur différents matériaux.
1991-1995 : Thèse de Doctorat de 3ème cycle, spécialité Chimie (Université Paris 13)
 1991 : DEA Génie Biologique et Médical (Université Paris 13)

 Co-direction de 4 thèses
 Encadrement de stages de Master 2, Travail de Fin d’Etude, Projet d’Elèves

 15 publications dans des revues internationales, 20 communications lors de congrès, 2 chapitres de livres

English CV

Born on March 7th, 1969 in Paris (France)

 Since september 2004 : Assistant Professor at Ecole Centrale de Lyon (France)
Teaching in Chemistry, Biology and Biotechnology
Teaching in Master of Science « in vitro diagnosis engineering» (Grenoble), « Health and drug engineering » (Lyon I), « Nanoscale Engineering » (international Master, ECL)
 2002-2004 : Research position at Laboratoire des Systèmes Macromoléculaires et Immunovirologie Humaine (UMR CNRS 2714-bioMérieux)
Topic : Oriented immobilisation of anti-VIH antibodies on polymer surfaces
 1997-2002 : Assistant Professor at Institut Galilée (Université Paris 13)
Teaching in Chemistry, Biology, Biotechnology
Research activities developed at Laboratoire de Recherche sur les Macromolécules (UMR CNRS 7540), on the study of polymer-virus and polymer-antivirus antibodies interactions
 1995-1996 : Post-doc position at Twente University (The Netherlands), Department of Biomaterials Chemistry
Topic: Expression of endothelial cell adhesion molecules grown on various surfaces
1991-1995 : PhD thesis in Chemistry (Paris 13 University)
 1991 : Master of Science « Biomedical engineering » (Paris 13 University)

 Co-supervision of 4 PhD thesis
 Supervision of Master and Engineering school interships

 15 publications in international journal, 20 communications, 2 book chapters

Projects

Development of protein chip for diagnosis
Biological and chemical fonctionnalization of solid support
Physico-chemical characterisations of the support
Functionnalized support - biological system interactions

LAVIGNE Antonin Doctorant

LAVIGNE Antonin

LAYOUNI Yasmina Maître de Conférences

LAYOUNI Yasmina

LE BERRE Martine Maître de Conférences

LE BERRE Martine

Site : INSA

Equipe : Dispositifs Electroniques
INSA : Blaise Pascal 6ème étage - 04 72 43 88 62

CV

Martine Le Berre graduated from Institut National des Sciences Appliquées (INSA) Rennes and studied during one year as an exchange student at the Technical University of Clausthal (Germany). In 1994, she received a PhD from INSA Lyon for her work on the piezoresistivity of polycrystalline silicon. Since 1995 she has been working as an assistant professor at INL. She has been involved in the development of micromachined structures for Si-based MEMS (pressure sensors, micro-heat pipes arrays), their characterization as well as thin film characterization (PZT, SiC, BaM, YiG). After several studies on to the integration of ferrimagnetic oxides in microwave passive components, her latest projects contribute to the development of micro- and nanocomponents, e.g. components based on Local Anodic Oxidation by AFM or shadow-edge evaporation.
Martine Le Berre achieved the habilitation in 2006. She is or was implicated in 7 national or regional research programs. She has supervised or co-supervised 11 PhD theses, 18 internships (Master level) and participated to 14 PhD thesis boards. Through her research activities she has authored or co-authored 37 articles referenced in ISI Web of Knowledge and she participated to 49 international conferences. Her H-factor rates 11. She acts as referee for journals such as IEEE Trans. Magn., J. Micromech. Microeng., Sensors & Actuators A, J. Appl. Phys.
Martine Le Berre teaches (1) in the field of Microtechnologies and Microelectronics, at the Master level:
- Lecture on the Technologies for Microelectronics, Elec. Eng. Dpt.
- Lecture on MEMS, Materials Sci. Eng. Dpt.
- Practical in Clean Room "Technologies for Microelectronics", Elec. Eng. Dpt.
(2) at the Bachelor level , courses on Electromagnetism and Waves in English and an introduction course on MEMS

English CV

Martine Le Berre graduated from Institut National des Sciences Appliquées (INSA) Rennes and spent one year as an exchange student at the Technical University of Clausthal (Germany). In 1994, she received a PhD from INSA Lyon for her work on the piezoresistivity of polycrystalline silicon. Since 1995 she has been working as an assistant professor at INL. She has been involved in the development of micromachined structures for Si-based MEMS (pressure sensors, micro-heat pipes arrays), their characterization as well as thin film characterization (PZT, SiC, BaM, YiG). After several studies on to the integration of ferrimagnetic oxides in microwave passive components, her latest projects contribute to the development of micro- and nanocomponents, e.g. components based on Local Anodic Oxidation by AFM.
Martine Le Berre achieved the habilitation in 2006. She is or was implicated in 7 national or regional research programs. She has supervised or co-supervised 11 PhD theses, 18 internships (Master level) and participated to 13 PhD thesis boards. Through her research activities she has authored or co-authored 37 articles referenced in ISI Web of Knowledge and she participated to 49 international conferences. Her H-factor rates 11. She acts as referee for journals such as IEEE Trans. Magn., J. Micromech. Microeng., Sensors & Actuators A, J. Appl. Phys.
Martine Le Berre teaches physics, and more specifically Electromagnetism and Wave Courses, to Bachelor english speaking students (lecture, practicals and tutorials). She supervises also practicals to Master students on the Technology of Integrated Components for Microelectronics (clean room environment) and MEMS courses to Bachelor and Master students.

Projects

Development of nanocomponents
Functionnal oxide integration
Micro and nanotechnologies
High frequency passive components

LE BEUX Sébastien Maître de Conférences

LE BEUX Sébastien

LECLERCQ Jean-Louis Chargé de Recherche

LECLERCQ Jean-Louis

Site : ECL / INSA / UCB / CPE

Equipe : i-lum
ECL : Bâtiment F7 - 4ème étage - 04 72 18 65 63
INSA : Blaise Pascal 2ème étage -
Plateforme Nanolyon : Centrale de Micro Nano Fabrication

CV

Né en 1964, diplômé de l’Université de Montpellier II en 1990 d’un Doctorat, spécialité : chimie des matériaux. Mes travaux de thèse portaient sur les dépôts plasma pour la réalisation de transistors MISFET sur InP. Intégration au CNRS en tant que Chargé de Recherche en octobre 1990 dans l’Equipe de Microoptoélectronique de Montpellier (EM2) de l’Université de Montpellier II où je réalise des diodes lasers à base d’antimoniures. Je rejoints en 1992 l’Institut des Nanotechnologies de Lyon (ex-LEOM) à l’Ecole Centrale de Lyon où j’ai actuellement en charge la responsabilité de la plateforme technologique NANOLYON. Mes activités de recherches sont liées aux microtechnologies III-V et aux microsystèmes optiques III-V. Mes principaux domaines d’intérêt impliquent l’intégration hétérogène, les composants optoélectroniques et photoniques, le micro-usinage et la micro-nanofabrication de micro-nanodispositifs à base de matériaux III-V. Auteur et Co-auteur de plus de 60 articles parus dans des revues à comité de lecture et plus de 70 communications dans le cadre de conférences internationales.

English CV

Born in 1964, received the Ph.D. in chimie des matériaux in 1990 from the University of Montpellier II, France. My thesis work focused on PECVD processing for InP-based MISFET. I joined the French CNRS as permanent Researcher in 1990. From 1990 to 1992, I worked at EM2 of University of Montpellier II by developing GaSb-based laser diodes. In 1992, I joined the INL (ex-LEOM) at Ecole Centrale de Lyon where I am currently managing the NANOLYON cleanroom facilities. I am leading the III-V based microtechnologies and optical microsystems developments in several national and european scientific projects. My current interests include heterogeneous integration, optoelectronics, micromachining and micro-nanofabrication related to III-V based materials for new photonic systems. Author and co-author of about 60 papers in international journals and 70 international conferences.

Projects

III-V based optical Microsystems (MOEMS), Heterogeneous integration, Optoelectronics, Micromachining and Micro-nanofabrication related to III-V based materials for new photonic systems

LECOT Solène Doctorant

LECOT Solène

LEMITI Mustapha Professeur des Universités

LEMITI Mustapha

LETARTRE Xavier Directeur de Recherche

LETARTRE Xavier

LHUILLIER Jérémy Doctorant

LHUILLIER Jérémy

LI Xiao Doctorant

LI Xiao

LOPEZ Raphaël Adjoint technique

LOPEZ Raphaël

LOUVET Thibaud CDD Chercheur

LOUVET Thibaud

LU Guo-Neng Professeur des Universités

LU Guo-Neng

MAHATO Prabir Doctorant

MAHATO Prabir

MAKUKHA Doctorant

MAKUKHA

MALHAIRE Christophe Maître de Conférences

MALHAIRE Christophe

Site : INSA

Equipe : Dispositifs Electroniques
INSA : Blaise Pascal 6ème étage - 04 72 43 61 34

CV

Christophe Malhaire est né en 1967. En 1998, il obtient le grade de docteur ès sciences de l’INSA de Lyon pour ses travaux au Laboratoire de Physique de la Matière sur le comportement thermomécanique de capteurs de pression piézorésistifs pour environnements sévères. Nommé maître de conférences en 1998, il poursuit ses recherches au LPM dans le domaine des MicroSystèmes ElectroMécaniques dans l’équipe du Pr. Daniel Barbier. Il développe une spécificité dans l’étude des propriétés mécaniques des matériaux en films minces et du comportement de microstructures déformables. Il s’intéresse aussi aux MEMS piézoélectriques, à la fiabilité et à l’intégration du silicium nanostructuré dans des dispositifs microfluidiques. Il soutient son HDR en 2006. En 2007, avec la création de l’Institut des Nanotechnologies de Lyon (UMR 5270), il rejoint l’équipe Dispositifs Électroniques. Il y développe de nouvelles méthodes de caractérisation et structures de tests mécaniques originales et étend ses recherches aux actionneurs à films polymères nanocomposites et aux MEMS pour la récupération d’énergie. Ses compétences concernent le développement de bancs de mesures, la profilométrie optique, les simulations par éléments finis, les microtechnologies silicium. Il a (co)encadré 10 thèses, a porté ou participé à plus d"une vingtaine de projets de recherche, et est (co)auteur de plus de 30 articles de revues internationales.

Domaine de recherche : Micro-Nano-Technologies Silicium et Micro-Nano-Systèmes (MEMS).

- Étude des propriétés mécaniques des matériaux en films minces.
- Étude du comportement thermomécanique des microstructures déformables.
- Développement de nouvelles structures de tests et de méthodes de caractérisation.
- Conception, technologie, caractérisation de micro-nano-systèmes, capteurs et actionneurs.

Compétences : FEM, profilométry optique, vibrométrie, technologie et conception de MEMS.

Publications :

- Revues internationales : 31
- Comm. int. avec actes et CL : 28

Publications récentes :

- C. Malhaire, A. Danescu, V. Lysenko and A. Sabac. Porous silicon as soft material in low-frequency MEMS (MicroElectro-Mechanical Systems) resonators. World Journal of Mechanics (2018) 8, 431-443. DOI : 10.4236/wjm.2018.811031
- E. Puyoo, S. Brottet, R. Rafael, C. Malhaire. Ultra-high sensitivity to strain of cracked thin films based on metallic nanoparticles in a dielectric matrix. IEEE Sensors Letters (2018) 2(3) DOI : 10.1109/LSENS.2018.2865883
- R. Rafael, E. Puyoo, and C. Malhaire. Piezo-Tunnel effect in Al/Al 2 O 3 /Al junctions elaborated by Atomic Layer Deposition. Journal of Applied Physics 122, 184501 (2017) DOI : 10.1063/1.4994163.
- G. Cagnoli, M. Lorenzini, E. Cesarini, F. Piergiovanni, M. Granata, D. Heinert, F. Martelli, R. Nawrodt, A. Amato, Q. Cassar, J. Dickmann, S. Kroker, D. Lumaca, C Malhaire, C. B. Rojas Hurtado. Mode-dependent mechanical losses in disc resonators. Physics Letters A (2017) https ://doi.org/10.1016/j.physleta.2017.05.065.
- E. Puyoo, C. Malhaire, D. Thomas, R. Rafaël, M. R’Mili, A. Malchère, L. Roiban, S. Koneti, M. Bugnet, A. Sabac and M. Le Berre. Metallic nanoparticle-based strain sensors elaborated by atomic layer deposition. Appl. Phys. Lett. (2017) 110, 123103 ; doi : 10.1063/1.497877

Enseignement :

- Cours Dispositifs Capteurs et Actionneurs, INSA Lyon SGM 5
- TD et TP de Physique (INSA Lyon FIMI 1A)
- TD OMSI (INSA Lyon FIMI 1A)

Activités administratives et responsabilités collectives récentes :

- Membre nommé au Conseil de Laboratoire de l'INL en 2016
- Co-responsable de la discipline OMSI, INSA Lyon FIMI 1A, depuis 2018

English CV

Christophe MALHAIRE was born in 1967. He is assistant professor at the engineers school INSA Lyon, France, and researcher at the Department of Electronic, in the Electronic Devices research group, of the Lyon Institute of Nanotechnology (INL, CNRS UMR 5270). He received his PhD from INSA Lyon in 1998. He contributed to the study of the thermomechanical behaviour of piezoresistive pressure sensors for harsh environments. His research activities involve the development and the modeling of various micro-electromechanical systems (MEMS) with main focus on finite element modeling, thin film stress and elastic parameters measurements, piezoelectric actuators, MEMS reliability and thermomecanical studies of suspended microstructures.

Research fields: Micro-Nano-Systems (MEMS-NEMS), Silicon Micro-Nano-Technologies.

- Study of the mechanical properties of thin film materials.
- Study of the thermomechanical behaviour of deformable micro-nano-structures.
- Development of new mechanical test structures and characterization methods.
- Simulation, design and realization of MEMS,

Special skills: Finite Element Modelling, optical profilometry, vibrometry, MEMS design and technology.

Publications:

- International journals: 31
- Peer reviewed papers in international conferences: 28

Recent publications:

- C. Malhaire, A. Danescu, V. Lysenko and A. Sabac. Porous silicon as soft material in low-frequency MEMS (MicroElectro-Mechanical Systems) resonators. World Journal of Mechanics (2018) 8, 431-443. DOI : 10.4236/wjm.2018.811031
- E. Puyoo, S. Brottet, R. Rafael, C. Malhaire. Ultra-high sensitivity to strain of cracked thin films based on metallic nanoparticles in a dielectric matrix. IEEE Sensors Letters (2018) 2(3) DOI : 10.1109/LSENS.2018.2865883
- R. Rafael, E. Puyoo, and C. Malhaire. Piezo-Tunnel effect in Al/Al 2 O 3 /Al junctions elaborated by Atomic Layer Deposition. Journal of Applied Physics 122, 184501 (2017) DOI : 10.1063/1.4994163.
- G. Cagnoli, M. Lorenzini, E. Cesarini, F. Piergiovanni, M. Granata, D. Heinert, F. Martelli, R. Nawrodt, A. Amato, Q. Cassar, J. Dickmann, S. Kroker, D. Lumaca, C Malhaire, C. B. Rojas Hurtado. Mode-dependent mechanical losses in disc resonators. Physics Letters A (2017) https ://doi.org/10.1016/j.physleta.2017.05.065.
- E. Puyoo, C. Malhaire, D. Thomas, R. Rafaël, M. R’Mili, A. Malchère, L. Roiban, S. Koneti, M. Bugnet, A. Sabac and M. Le Berre. Metallic nanoparticle-based strain sensors elaborated by atomic layer deposition. Appl. Phys. Lett. (2017) 110, 123103 ; doi : 10.1063/1.497877

Teaching Activities:

- Course: Sensors and Actuators Devices, INSA Lyon SGM 5
- Practical works and tutorials of physics, INSA Lyon FIMI 1A
- Tutorials of Mathematical Tools for Engineering Science, INSA Lyon FIMI 1A

Recent administrative duties:

- Member appointed to the INL Laboratory Council in 2016
- Co-responsible for the discipline Mathematical Tools for Engineering Science, since 2018

Projets

- 2018-22 : ANR PRC Recherche industrielle, ViSIONs : Vibrations et pertes dans les couches minces optiques amorphes (resp. : G. Cagnoli, ILM).
- 2017-18 : Contrat industriel ULIS, mesure de contraintes (resp. : C. Malhaire).
- 2011-14 : ANR P2N, PIEZO2POWER (resp. : C. Malhaire).

Projects

- 2018-22 : ANR PRC Recherche industrielle, ViSIONs : Vibrations et pertes dans les couches minces optiques amorphes (resp. : G. Cagnoli, ILM).
- 2017-18 : Contrat industriel ULIS, mesure de contraintes (resp. : C. Malhaire).
- 2011-14 : ANR P2N, PIEZO2POWER (resp. : C. Malhaire).

MANCHON Benoit Doctorant

MANCHON Benoit

MANDORLO Fabien Maître de Conférences

MANDORLO Fabien

MARCHAND Cédric Maître de Conférences

MARCHAND Cédric

MARTIN Thérèse Adjoint technique

MARTIN Thérèse

MARTY OIivier Maître de Conférences

MARTY OIivier

MASENELLI Bruno Professeur des Universités

MASENELLI Bruno

MASSOT Bertrand Maître de Conférences

MASSOT Bertrand

MAZAURIC Serge Maître de Conférences

MAZAURIC Serge

MAZURCZYK Radoslaw Ingénieur de Recherche

MAZURCZYK Radoslaw

Site : ECL

ECL : Bât. F7 - RDC - 04 72 18 65 48
Plateforme Nanolyon : Centrale de Micro Nano Fabrication

CV

Diplômes - Etudes

1999- 2002 Doctorat passé dans le Départment d’Electronics, Ecole Polytechnique de Lodz, Lodz, en Pologne

1987-1993 Maîtrise de physique, Université de Lodz, Lodz, en Pologne

Experiences professionnelles et scientifiques :

2009 - ingenieur de recherche, CDI

2008-2009: ingéniur de recherche, stagiaire

2005-2008: ingéniur de recherche, CDD

2003-2005: Post-doc dans le LEOM à Ecole Centrale de Lyon (Laboratoire d’ةlectronique, Optoélectronique et Microsystèmes)

1999 - 2002: Assistant Professor dans la division des composants semiconducteurs, Institut d’ ةlectronique, ةcole Polytechnique de Lodz, Lodz, Pologne
1994 - 1998: Chercheur au Centre de la Physique Moléculaire et Macromoléculaire, Académie des Sciences Polonaise, Lodz, Pologne.
1992 - 1993: Assistant Technique dans un Laboratoire de Physique Nucléaire, Université de Lodz, Lodz, Pologne

English CV

University studies and diploma obtained :

2002 PhD from the Department of Electronics, Ecole Polytechnique de Lodz, Lodz, Poland

1993 M.Sc diploma preparation at the Faculty of Physics, University of Lodz, Lodz, Poland.

Professional and research experience :

December 2009 - present: research engineer at the INL-ECL

December 2005 – December 2008: position of CNRS research engineer at Laboratoire d"Electronique, Optoélectronique et Microsystèmes, Ecole Centrale de Lyon (non-permanent contract)

2003- 2005: Post-doc position at Laboratoire d"Electronique, Optoélectronique et Microsystèmes, Ecole Centrale de Lyon,

1999 - 2002: Assistant Professor at the Semiconductor Devices Division, Institute of Electronics, Ecole Polytechnique de Lodz, Lodz, Poland

1994 - 1998: Researcher at the Centre of Molecular and Macromolecular Studies, Polish Academy of Sciences, Lodz, Poland.

1992 - 1993: Technical assistant at the Student’s Nuclear Laboratory, University of Lodz, Lodz, Poland.

Projects

- Processing of electronic materials and microfabrication:

• Vacuum deposition and sputtering
• Plasma processing (deposition, etching)
• Wet and dry etching methods
• Thermal processing and doping
• Photolithography
• Glass and plastic processing

- Materials characterisation and measurement techniques:

• Surface characterisation (AFM, SEM)
• Optical characterisation – ellipsometry, optical absorption, fluorescence microscopy
• Low current and photo-current measurement methods (also at low temperatures)
• Design and realisation of measurement set-ups based on fibre and waveguide optics

- Specific subjects of interest:

• Heterogeneous integration of electronic and optoelectronic micro/nano devices – molecular bonding
• Biotechnology – Lab-on-a-chip and DNA chip technology

MCADAMS Eric Professeur des Universités

MCADAMS Eric

Site : INSA

Equipe : Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
INSA : Léonard de Vinci RDC - 04 72 43 89 86

CV

FONCTION ACTUELLE

Depuis 2008, Professeur à l’INSA de Lyon (qualification section 63) au Département Premier Cycle de l’INSA de Lyon.
Responsable de l’Equipe « Capteurs Biomédicaux » du Département Biotechnologie-Santé de l’Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL)

EXPERIENCE PROFESSIONNELLE ANTERIEURE

2001-2008:"Intelesens", start-up de l"Université d"Ulster. Irlande du Nord. http://www.intelesens.com/ Co-Fondateur et co-Directeur
1995-2008 : School of Electrical and Mechanical Engineering, Université d’Ulster, Irlande du Nord. Professor of BioEngineering
1986-2008 : The Nanotechnology and Integrated BioEngineering Centre (NIBEC), Université d’Ulster, Responsable du groupe de recherche « Medical Sensors »
1984-1986 : Guys Hospital, Department of Clinical Physics and Bio-Engineering, London. Medical Physicist (Recherche et ingénierie des systèmes médicaux)
1980-1983 : Leeds General Infirmary, Department of Medical Physics, Leeds, Travaux de recherche pour la thèse

FORMATION

1980-1987 :Leeds General Infirmary/Université de Leeds, Department of Medical Physics, Leeds, LS1. PhD Thèse en Génie Biologique et Médical « Etude de l’impédance de l’interface électrode-tissus lors de l’électrostimulation cardiaque »
1976-1980 : Université d"Ulster. Jordanstown, Co. Antrim, Irlande du Nord. BSc (Equivalent Maîtrise) Ingénierie avec félicitations

VOLUMES SPECIAUX

1. A. Dittmar, C. Gehin, E. McAdams, C. Ramon, R. Meffre, R. Nocua, G. Delhomme. Microcapteurs, vêtements, habitats intelligents pour le monitoring permanent: impact sociétal et éthique. In : C. Hervé et al. La nanomédecine : Enjeux éthiques, juridiques et normatifs. Paris : Dalloz, 2007, pp. 103-124.
2. ET McAdams, "Bioelectrodes", in “Encyclopedia of Medical Devices and Instrumentation”, 2nd Edition, Ed John G Webster, Wiley InterScience, ISBN 0-471-26358-3, Pages 120-166, 2006
3. "Personalised Health Management Systems: The Integration of Innovative Sensing, Textile, Information and Communication Technologies", Editors Nugent C D, McCullagh PJ, McAdams ET, Lymberis A, IOS Press (Amsterdam), ISBN 1-58603-565-7, Jan 2006
4. Dunlop P S M, Oliver L, Byrne J, McAdams ET, "Detection and removal of pathogenic biofilms on medical implant surfaces", IOS Press (Personalised Health Management Systems, The Integration of Innovative Sensing, Textile, Information and Communication Technologies, Vol 117), ISBN 1-58603-565-7, Pages 213-217 (2005)
5. Rankin J, Byrne J, McAdams ET "Non-mediated glucose biosensing using nanostructured TiO2", IOS Press (Personalised Health Management Systems, The Integration of Innovative Sensing, Textile, Information and Communication Technologies, Vol 117), ISBN 1-58603-565-7, Pages 207-212, (2005)

BREVETS

1. E T McAdams; Electrically Enhanced Wound Healing System and Method. Patent filed 2008-10-15
2. Baker S; McAdams ET; Welch JP; Ohlenbusch N; Blackadar TP. Body Worn Physiological Sensor Device Having A Disposable Electrode Module. WO2008057884, 2008 (Welch Allyn)
3. E T McAdams; J A McLaughlin; J McC Anderson; “Biomedical surface electrode”. International application no: PCT/EP2007/001365 2007
4. MCADAMS ERIC THOMAS. SYSTEME ET PROCEDE DE CARTOGRAPHIE DE LESIONS CUTANEES, WO2004049937 , 2005

ORGANISATION DE CONGRES, SEMINAIRES, WORKSHOPS

* Program Co-Chair, 29th Annual Int. Conf. of the IEEE EMB Society, Lyon, France. 23-26 August 2007
* Member of the Scientific Board. 13th International Conference on Electrical Bioimpedance (ICEBI `07) combined with the 8th Conference on Electrical Impedance Tomography. August 29th to September 2nd 2007, Graz, Austria.
* Theme Chair, “Micro- and Nano- Biotechnologies. Session Chairs - Micro Robotics, Wearable Sensors and Devices 2, Micro-Implanted Devices, Micro Instrumentation and Imaging, 28th Annual International Conference of the IEEE Engineering in Medicine and Biology (EMBS) , 2006
* Member of the International Scientific Advisory Committee. 3rd International Workshop on the integration of innovative Sensing, Micro and Nanosystems, Textile, Information and Communication Technologies in Personalised Health. KKL, Lucerne, Switzerland, January 30th - February 1st 2006.

English CV

PRESENT POSITION

Since 2008, Professor at INSA de Lyon (section 63), “Premier Cycle” Department.
Director of the Medical Sensors Group, Biotechnology and Health Department, Institut des Nanotechnologies de Lyon (Nanotechnology Institute of Lyon).

EMPLOYMENT HISTORY

2001-2008:"Intelesens", spinout company from the University of Ulster, Northern Ireland. http://www.intelesens.com/ Co-Founder and co-Director
1995-2008: School of Electrical and Mechanical Engineering, University of Ulster, Northern Ireland. Professor of Bioengineering
1986-2008 : The Nanotechnology and Integrated BioEngineering Centre (NIBEC), University of Ulster, Northern Ireland, Head of the Medical Sensors Group
1984-1986: Guys Hospital, Department of Clinical Physics and Bio-Engineering, London. Medical Physicist
1980-1983: Leeds General Infirmary, Department of Medical Physics, Leeds, PhD research.

EDUCATION

1980-1987: Leeds General Infirmary/University of Leeds, Department of Medical Physics, Leeds, LS1. PhD Thesis in Biomedical Engineering “A Study of Electrode-Tissue Impedances Encountered in Cardiac Pacing”.
1976-1980: University of Ulster, Northern Ireland. BSc Hons Engineering

BOOKS AND OTHER PUBLICATIONS

1. A. Dittmar, C. Gehin, E. McAdams, C. Ramon, R. Meffre, R. Nocua, G. Delhomme. Microcapteurs, vêtements, habitats intelligents pour le monitoring permanent: impact sociétal et éthique. In : C. Hervé et al. La nanomédecine : Enjeux éthiques, juridiques et normatifs. Paris : Dalloz, 2007, pp. 103-124.
2. ET McAdams, "Bioelectrodes", in “Encyclopedia of Medical Devices and Instrumentation”, 2nd Edition, Ed John G Webster, Wiley InterScience, ISBN 0-471-26358-3, Pages 120-166, 2006
3. "Personalised Health Management Systems: The Integration of Innovative Sensing, Textile, Information and Communication Technologies", Editors Nugent C D, McCullagh PJ, McAdams ET, Lymberis A, IOS Press (Amsterdam), ISBN 1-58603-565-7, Jan 2006
4. Dunlop P S M, Oliver L, Byrne J, McAdams ET, "Detection and removal of pathogenic biofilms on medical implant surfaces", IOS Press (Personalised Health Management Systems, The Integration of Innovative Sensing, Textile, Information and Communication Technologies, Vol 117), ISBN 1-58603-565-7, Pages 213-217 (2005)
5. Rankin J, Byrne J, McAdams ET "Non-mediated glucose biosensing using nanostructured TiO2", IOS Press (Personalised Health Management Systems, The Integration of Innovative Sensing, Textile, Information and Communication Technologies, Vol 117), ISBN 1-58603-565-7, Pages 207-212, (2005)

PATENTS

1. E T McAdams; Electrically Enhanced Wound Healing System and Method. Patent filed 2008-10-15
2. Baker S; McAdams ET; Welch JP; Ohlenbusch N; Blackadar TP. Body Worn Physiological Sensor Device Having A Disposable Electrode Module. WO2008057884, 2008 (Welch Allyn)
3. E T McAdams; J A McLaughlin; J McC Anderson; “Biomedical surface electrode”. International application no: PCT/EP2007/001365 2007
4. MCADAMS ERIC THOMAS. SYSTEME ET PROCEDE DE CARTOGRAPHIE DE LESIONS CUTANEES, WO2004049937 , 2005

ORGANISATION OF CONGRES, SEMINAIRES, WORKSHOPS

* Program Co-Chair, 29th Annual Int. Conf. of the IEEE EMB Society, Lyon, France. 23-26 August 2007
* Member of the Scientific Board. 13th International Conference on Electrical Bioimpedance (ICEBI `07) combined with the 8th Conference on Electrical Impedance Tomography. August 29th to September 2nd 2007, Graz, Austria.
* Theme Chair, “Micro- and Nano- Biotechnologies. Session Chairs - Micro Robotics, Wearable Sensors and Devices 2, Micro-Implanted Devices, Micro Instrumentation and Imaging, 28th Annual International Conference of the IEEE Engineering in Medicine and Biology (EMBS) , 2006
* Member of the International Scientific Advisory Committee. 3rd International Workshop on the integration of innovative Sensing, Micro and Nanosystems, Textile, Information and Communication Technologies in Personalised Health. KKL, Lucerne, Switzerland, January 30th - February 1st 2006.

Projects

RESEARCH ACTIVITIES:
Study of the electrical properties of materials and interfaces; Impedance Spectroscopy and the design and development of biomedical sensors

MEKKAOUI Samir CDD Chercheur

MEKKAOUI Samir

MERMET LYAUDOZ Raphaël Doctorant

MERMET LYAUDOZ Raphaël

MICHIT Nicolas Doctorant

MICHIT Nicolas

MILITARU Liviu Maître de Conférences

MILITARU Liviu

MOALLA Rahma CDD ITA

MOALLA Rahma

MONAT Christelle Professeur des Universités

MONAT Christelle

MONNIER Virginie Maître de Conférences

MONNIER Virginie

Site : ECL

Equipe : Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
ECL : F7 3ème étage - 04 72 18 62 39

CV

Née le 11/03/1980
• 2019 : Habilitation à Diriger des Recherches (HDR)
• Depuis sept. 2008 : Maître de conférences à l’Ecole Centrale de Lyon au Département Sciences et Techniques des Matériaux et des Surfaces (STMS).
• 2008 : Post-doctorat. Université Nancy I. Lab. Synthèse Organométallique et Réactivité (Pr. Y. Fort). Elaboration de nanocomposites piézoélectriques à base de nanoparticules de LiNbO3.
• 2006 - 2007 : Post-doctorat. CEA Grenoble. Lab. Electronique Moléculaire Organique et Hybride (Dr. P. Reiss). Synthèse et caractérisation de nanoparticules de FePt pour le stockage magnétique.
• 2003 - 2006 : Doctorat. Université Joseph Fourier (Grenoble). Lab. de Cristallographie (Dr. A. Ibanez). Elaboration et caractérisation structurale de nanocristaux moléculaires luminescents insérés dans des couches minces sol-gel : Application à la réalisation de capteurs chimiques et biologiques.
• 2003 : Ingénieur ENSPG, Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)
• 2003 : DEA de Physique des Matériaux, Université Joseph Fourier (Grenoble I)

English CV

• 2019: Habilitation (HDR)
• Since sept. 2008 : Assistant Professor at Ecole Centrale de Lyon. Research at the Nanotechnologies Institute of Lyon (INL), Chemistry and Nanobiotechnologies team.
• 2008 : Post-doctoral fellow. Nancy I University. Organometallic Synthesis and Reactivity Lab. (Pr. Y. Fort). Elaboration of piezoelectric nanocomposites containing LiNbO3 nanoparticles.
• 2006-2007 : Post-doctoral fellow. CEA Grenoble. INAC (Dr. P. Reiss and Dr. Y. Samson). Synthesis and characterization of magnetic FePt nanoparticles for data storage.
• 2003-2006 : PhD student. CNRS Grenoble. Crystallography Lab. (Dr. A. Ibanez). Elaboration and structural characterization of molecular luminescent nanocrystals in sol-gel films. Application to the realisation of chemical and biological sensors.
• 2003 Engineer in Physics. National Polytechnic Institute of Grenoble (INPG)
• 2003 MSc. In Materials Physics. Joseph Fourier University (Grenoble I), France

Projects

Nanoparticles for imaging, therapy and diagnosis

MONTALIBET Amalric CDD ITA

MONTALIBET Amalric

MORIN Pierre Visiteur/Invité

MORIN Pierre

MOULIN Nelly Doctorant

MOULIN Nelly

NABETH Isabel Adjoint technique

NABETH Isabel

NASSIET Thomas Doctorant

NASSIET Thomas

NAVARRO David Maître de Conférences

NAVARRO David

NDIAYE Amade Doctorant

NDIAYE Amade

NGUYEN Hai Son Maître de Conférences

NGUYEN Hai Son

Site : ECL

Equipe : i-lum
ECL : Bâtiment F7 - 1er étage - 04 72 18 60 87

CV

Hai Son Nguyen est né en 1985 à Hanoi (Vietnam). Il est arrivé en France en 2003 pour poursuivre ses études supérieures.

Hai Son Nguyen a obtenu son diplôme de doctorat en 2011 à l"Université de Paris VI. Pendant sa thèse au laboratoire Pierre Aigrain à l"Ecole Normale Supérieure de Paris, il a étudié la spectroscopie résonante des boîtes quantiques uniques InAs/GaAs. En particulier, il a mis en évidence la propriété de source de photons uniques ultra-cohérentes de ces atomes artificiels, qui peuvent être contrôlé de façon optique.

Entre 2011-2014, Hai Son Nguyen était chercheur contractuel de CNRS au Laboratoire de Photonique et de Nanostructures (LPN) à Marcoussis. Le thème central de ses recherches post-doctorales est le contrôle et la manipulation optiques des fluides polaritoniques. Ils s"agitssent des états quantiques mixtes lumière-matière issus du couplage fort entre les photons de microcavité et les excitons de puits quantiques. Ses résultats majeures au cours de son post-doctorat sont:
- La démonstration d"une diode tunnel résonante non-linéaire à polariton
- La réalisation expérimentale d"un trou noir acoustique à polariton
- La mise en évidence des états polaritoniques 0D à température ambiante dans les matériaux à hybrids organique-inorganique.

Hai Son Nguyen est maître de conférence à l"Ecole Centrale de Lyon à partir du 1er septembre 2014 dans l"équipe Nanophotonique de INL. Son activité de recherche est la photovoltaïque avec l"implémentation de Nanophotonique.

Liste de publications: http://scholar.google.fr/citations?user=E-xBbVQAAAAJ&hl=en
-----------------------------
Publications importantes:

1/ "Acoustic Black Hole in a Stationary Hydrodynamic Flow of Microcavity Polaritons" - HS Nguyen, D Gerace, I Carusotto, D Sanvitto, E Galopin, A Lemaître, I Sagnes, J Bloch, A Amo

Physical Review Letters 114 (3), 036402, 2015

2/ "Realization of a double-barrier resonant tunneling diode for cavity polaritons"
HS Nguyen, D Vishnevsky, C Sturm, D Tanese, D Solnyshkov, E Galopin, Aristide Lemaître, Isabelle Sagnes, Alberto Amo, Guillaume Malpuech, Jacqueline Bloch

Physical review letters 110 (23), 236601, 2013

3/ "Optically gated resonant emission of single quantum dots" - HS Nguyen, G Sallen, C Voisin, P Roussignol, C Diederichs, G Cassabois

Physical review letters 108 (5), 057401, 2012

4/ "Ultra-coherent single photon source" - HS Nguyen, G Sallen, C Voisin, P Roussignol, C Diederichs, G Cassabois, 2011

Applied Physics Letters 99 (26), 261904

English CV

Hai Son Nguyen is born in 1985 in Hanoi (Vietnam). He arrived in France in 2003 to start his university studing.

He obtained the PhD degree of Université de Paris VI in 2011. His PhD research is centered on the resonant spectroscopy of InAs/GaAs single quantum dots. He demonstrated for the first time the ultra-coherent property of quantum-dot resonant emission and propoposed an optical control of for this quantum light.

During 2011-2014, Hai Son Nguyen was post-doctorant in Laboratoire de Photonique et de Nanostructures (LPN) of CNRS, where he studied the physics of cavity polaritons - mixed light/matter quasiparticles. Some important results from his post-doc:
- Demonstration of the first polariton analog black-hole
- Demonstration of the first polariton resonant tunneling diode

Hai Son Nguyen joined the INL in september 2014. His research is on the Photonic for Photovoltaic.

Publication list: http://scholar.google.fr/citations?user=E-xBbVQAAAAJ&hl=en
-----------------------------
Important publications:

1/ "Acoustic Black Hole in a Stationary Hydrodynamic Flow of Microcavity Polaritons" - HS Nguyen, D Gerace, I Carusotto, D Sanvitto, E Galopin, A Lemaître, I Sagnes, J Bloch, A Amo

Physical Review Letters 114 (3), 036402, 2015

2/ "Realization of a double-barrier resonant tunneling diode for cavity polaritons"
HS Nguyen, D Vishnevsky, C Sturm, D Tanese, D Solnyshkov, E Galopin, Aristide Lemaître, Isabelle Sagnes, Alberto Amo, Guillaume Malpuech, Jacqueline Bloch

Physical review letters 110 (23), 236601, 2013

3/ "Optically gated resonant emission of single quantum dots" - HS Nguyen, G Sallen, C Voisin, P Roussignol, C Diederichs, G Cassabois

Physical review letters 108 (5), 057401, 2012

4/ "Ultra-coherent single photon source" - HS Nguyen, G Sallen, C Voisin, P Roussignol, C Diederichs, G Cassabois, 2011

NOURY Norbert Professeur des Universités

NOURY Norbert

Site : INSA

Equipe : Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
INSA : Léonard de Vinci RDC - 04 72 43 74 54

CV

Professeur des Universités en Electronique (section CNU 63), enseignant à l"IUT de Lyon-Villeurbanne, département Génie Electrique.

Expérience industrielle de 8 ans (1985-93) dans le secteur des automatismes.
Expériences en enseignement:
- Electronique analogique et numérique (notamment pour les télécommunications),
- Informatique Industrielle (responsable de la création des modules d"II de l"IUT de l"Isle d"Abeau en 1993 et concepteur du module "Electronique pour les télécommunications" de la LPRO "Systèmes Embarqués" à l"IUT de Grenoble en 2007),
- Automatique et Régulation (concepteur du module de Régulation de la LPRO "Distribution Electrique et Automatismes" à l"IUT de Grenoble en 2004),
- Capteurs Biomédicaux (Responsable de la LPRO "Technologies des Equipements Médicaux" à l"IUT de Lyon-Villeurbanne en 2009).

Habilité à diriger des recherches depuis Avril 2002, titulaire de la prime d"encadrement doctoral depuis 1999.
Encadrement de 11 Thèses de sciences (5 en cours), de 2 thèses "autres" et de 11 Masters.
Membre de 15 jurys de thèses.
Relecteur de plus de 80 articles de revues et de conférences scientiques.
Expert dans le domaine des technologies pour la santé (Commission Européenne, ANR, Oséo-ANVAR...)
Participation à l"organisation de 26 congrès scientiques (IEEE-EMBS, IEEE-Healthcom,...)
Senior Member de la société internationale IEEE.
Auteur ou co-auteur de près de 150 articles (h=14) et rapports scientifiques (30 articles de revues, 81 communications internationales, 10 brevets, 14 chapitres de livres, 28 communications nationales, 31 Mémoires, 19 supports pédagogiques, 25 conférences invitées, 24 séminaires)

English CV

Senior Lecturer (Professor) at the University of Lyon, Department of Electrical Engineering in the Institute of Technology.

Industrial experience 8 years (1985-1993).
Teachings in Electronics (Analog and Digital), Industrial Computing, Automation, Biomedical Sensors.

Students guidance of 11 PhD in Sciences (5 running), 11 Masters in Sciences.
Reviewers of 80 publications in Journals and International Conferences.
Expert in Health Technologies (European Commission...).
Senior Member of the IEEE.
Author or co-author of over 150 scientific papers and communications (h=14).

Projects

Recognised expert in Smart Systems and Sensors for Health and Gerontechnology:
- design of the embedded sensors for monitoring Health in daily conditions
- implementation of data signal processings and data fusion algorithms
- experimentations and evaluations in hospitals and daily situations

Main achievements:
- Initiation of the Health Smart Homes project "HIS" at the University of Grenoble, lab. TIMC-IMAG, since 1999
- Development of a fully autonomous fall sensor for the elderly people (3 patents, 1 start Up)

NYCHYPORUK Tetyana Maître de Conférences

NYCHYPORUK Tetyana

O'CONNOR Ian Professeur des Universités

O'CONNOR Ian

Site : ECL

Equipe : Conception de Systèmes Hétérogènes
ECL : F7 2ème étage - 04 72 18 60 54

CV

Ian O"Connor (IEEE S"95-M"98-SM"07, IEE S"87-M"98) est né à Cambridge, Royaume-Uni, en 1969.

Il a obtenu les diplômes de B. Eng. Electronics Engineering (Université d"Essex, Royaume-Uni) en 1990 ; le European M.Sc. Electronics Engineering (diplôme décerné conjointement par l"Université d"Essex, Royaume-Uni, Ecole Supérieure d"Ingénieurs d"Electronique et d"Electrotechnique (ESIEE), Paris, France, et l"Université de Karlsruhe, Allemagne) en 1992 ; le Doctorat en Electronique (Université de Lille, France) en 1997 ; et l"Habilitation à Diriger des Recherches (Ecole Centrale de Lyon, France) en 2005.

De 1993-1997 il était assistant d"enseignement et de recherche à l"Institut Supérieur d"Electronique du Nord, France et de 1997-1998, il était ingénieur principal en CAO chez Philips Semiconductors (aujourd"hui NXP Semiconductors), Royaume-Uni. Il a rejoint l"Ecole Centrale De Lyon en 1998 en tant que Maître de Conférences dans le département Electronique, Electrotechnique et Automatique. Il est actuellement responsable de l"équipe Conception de Systèmes Hétéorgènes à l"Institut des Nanotechnologies de Lyon. Depuis 2008, il occupe également un poste de professeur associé à l"Ecole Polytechnique de Montréal, Canada.

Ses travaux de recherche concernent l"élaboration de methodes et d"outils de conception pour systèmes sur puce physiquement hétérogènes, ainsi que leur application aux architectures nouvelles basées sur des dispositifs non-conventionnels (réseaux optiques sur puce, nanoprocesseurs à base de CNTFET, architectures intégrées 3D). Il est auteur ou co-auteur d"environ 100 chapitres d"ouvrage, articles de journal et conférences, et a été responsable de workpackage ou coordinateur scientifique pour plusieurs projets nationaux et européens. Il est actuellement expert à l"Observatoire des Micro- et Nano-Technologies (OMNT).

English CV

Ian O"Connor (IEEE S"95-M"98-SM"07, IEE S"87-M"98) was born in Cambridge, U.K., in 1969.

He received the B. Eng. degree in Electronics Engineering from the University of Essex, U.K., in 1990; the European M.Sc. degree in Electronics Engineering jointly from the University of Essex, U.K, the Ecole Supérieure d"Ingénieurs d"Electronique et d"Electrotechnique, Paris, France, and Universitنt Karlsruhe, Germany, in 1992; the Ph.D. degree in Electronics from the University of Lille, France, in 1997; and the professoral dissertation (Habilitation à Diriger des Recherches) from Ecole Centrale de Lyon, France, in 2005.

From 1993-1997 he was a Research and Teaching Assistant with the Institut Supérieur d"Electronique du Nord, France and from 1997-1998, he was a Senior CAD Engineer with Philips Semiconductors (now NXP Semiconductors), UK. He joined Ecole Centrale de Lyon in 1998, where he is now Professor in the Department of Electronic, Electrical and Control Engineering. He is currently head of the Heterogeneous Systems Design group at the Lyon Institute of Nanotechnology, of which he is also one of the vice-directors. Since 2008, he also holds a position of Adjunct Professor at Ecole Polytechnique de Montréal, Canada.

His research interests include design methods and tools for physically heterogeneous systems on chip, and their application to novel system architectures based on non-conventional devices (optical networks on chip, CNTFET-based nanoprocessors, 3DICs). He has authored or co-authored around 100 book chapters, journal publications and conference papers and has been workpackage leader or scientific coordinator for several national and european projects. He also serves as an expert with the french Observatory for Micro and Nano Technologies (OMNT).

Projects

Design methods and tools for heterogeneous systems on chip
Nanoelectronic circuit architectures
Integrated optical interconnect
3D integrated circuits

OROBTCHOUCK Régis Maître de Conférences

OROBTCHOUCK Régis

PABLO SAINZ EZQUERRA Ana Maria Doctorant

PABLO SAINZ EZQUERRA Ana Maria

PAVANELLO Fabio Chargé de Recherche

PAVANELLO Fabio

PEDRAM Panteha Doctorant

PEDRAM Panteha

PENUELAS José Maître de Conférences

PENUELAS José

PHANER-GOUTORBE Magali Professeur des Universités

PHANER-GOUTORBE Magali

Site : ECL

Equipe : Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
ECL : F7 3ème étage - 04 72 18 62 32

CV

Magali Phaner-Goutorbe

Situation actuelle : Professeur
Tel : (33) (0)4 72 18 62 32
courriel:

•2005 Professeur des universités à l’Ecole centrale de Lyon (33ème)
•1992-2005 Maître de conférences à l’Ecole centrale de Lyon (28ème)
•2003 Habilitation à diriger des recherches
Sujet : « Nanostructuration de surfaces :Caractérisation par microscopies à champ proche »
•1992 Doctorat 3ème cycle « Dispositif de l’Electronique intégrée” Ecole Centrale de Lyon
Sujet de thèse: “Réalisation d’un microscope à effet tunnel en milieu liquide. Etudes de la fonctionnalisation de la surface graphitique et du décapage chimique du phosphure d’indium » Date : 01 Avril 1992

2010 professeur invité au London Center for Nanotechnology LCN UCL/Imperial college (6 mois)

Responsabilités

• 2006-2010 Responsable de l’Equipe d’enseignement « Chimie »
• Depuis 2008 Responsable de l’option de 3ème Année « Micro-Nano-Biotechnologie »
• Depuis 2008 Responsable du Master of Science « Nanoscale Engineering »
Site : www.nanoscale-engineering.org
• Depuis 2006 Créatrice et animatrice du groupe centraliens « Ose les Sciences ! » promotion des carrières scientifiques, action de vulgarisation scientifique pour des jeunes des quartiers défavorisés
• Co-responsable des cours de Physique Microscopique (1A 340-360 élèves), caractérisation de la matière (2A 45 élèves) Nanotechnologies (3A 20-30 élèves), caractérisation de nano-structures (3A 15 élèves)

Thématiques de recherche

Microscopie à force atomique (AFM) pour l’analyse de matériaux organiques et biologiques

 Caractérisation de systèmes biologiques à l’échelle moléculaire à l’air et en solution : puce à ADN, liposomes, cellules… imagerie et mesures de forces
 Caractérisation de matériaux organiques : pentacène, parylène pour transistors organiques, relation entre la structure nanométrique et la mobilité des charges.
 Développement de la technique AFM pour l’analyse de la matière molle (mode dynamique) et le fonctionnement en solution (influence de la force électrostatique).
Encadrement de 6 doctorants

Déléguée régionale Rhône-Alpes du Club Micro-Nanotechnologie

Transfert des compétences de recherche en enseignement sous forme d’ateliers AFM, de projets, de formation permanente (depuis 2006), d’école thématique (mai 2005), de manifestations de vulgarisations scientifiques : Année Mondiale de la Physique 2005, Fête de la Science (depuis 2004)

English CV

Magali Phaner-Goutorbe
Actual Situation: Professor
Tel : (33) (0)4 72 18 62 32
email:

• Since september 2005 Full Professor in Ecole Centrale de Lyon
• 1992-2005 Senior Lecturer
• 2003 Doctor es Sciences (Habilitation)
Habilitation subject : Surfaces Nanostructuring : Characterisation by Scanning Probe Microscopies.
• 1993 Ph.D of integrated electronic device in Ecole Centrale de Lyon
Thesis subject: “development of a home-made scanning tunneling microscope adapted to liquid medium. Studies of graphite and indium phosphide surfaces reactivity. April 1st 1992

2010 visiting professor in London center for Nanotechnology UCL:Imperial college (6 months)

Responsabilities

• 2006-2010 Head of teaching group “ Chemistry” in “master and materials” department Ecole Centrale de Lyon
Since 2008 Responsible of the Micro-Nano-BioTechnology specialization (3rd year equivalent master 2)
Since 2008 Responsible of the new international Master of Science « Nanoscale Engineering » of Lyon
(M1 sept2009) www. nanoscale-master.org

Research interest and skills

Instrumental development, STM in liquids, tunneling spectroscopy
Studies of strained layers growth, relationship between nanoscale structure and strain :
catalytic reactivity of Pd-metal alloys , formation of InGa As/ InP 3D nanowires by MBE

Atomic force microscopy (AFM) for the study of organic and biological materials
- Characterization of biological systems at a molecular scale, in air and liquids :“DNA chip”, liposomes, cells… imaging and force measurements
- Characterization of organic materials : pentacene , parylene for OFET, relationship between nanoscale structure and charge mobility
- Development of the AFM technique on soft materials (dynamic mode) and in liquids (influence of the ionic strength)
Supervisor of 6 PhD students
Member of the French Science Society of Physics, the Nano-microtechnology French group

Transfert of research skills into practical teaching towards projects, intership and master thesis for students but also continuing formation, thematic school, scientific popularization (World Year of Physics 2005, French Science festivals since 2004, leader of a group “Try sciences !” for training underprivileged young people )

Projects

Atomic Force Microscopy for organic and biological materials analysis in air and liquids: High resolution imaging- force measurements-functionalized tips- inter/intra molecular interactions - interfaces physics/chemistry

PITTET Patrick Ingénieur de Recherche

PITTET Patrick

Site : UCB

Equipe : Conception de Systèmes Hétérogènes
UCB : Léon Brillouin RDC - 04 72 43 10 24
Plateforme Nanolyon : Centrale de Micro Nano Fabrication

CV

Patrick Pittet est ingénieur diplômé et docteur de l'université de Lyon habilité à diriger des recherches (H.D.R.). De 1991 à 1994, il a travaillé comme ingénieur de recherche en traitement numérique du signal pour Thales Communications (Thomson RGS). De 1995 à 2001, il a occupé différentes fonctions en recherche développement pour une PME biomédicale puis pour une start-up spécialisée en robotique chirurgicale. En décembre 2001, il a rejoint l’université Lyon1 comme Ingénieur de Recherche à l’Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL). Ses activités de recherche portent sur la conception de capteurs intégrés et de systèmes innovants pour des applications biomédicales. Il est auteur ou co-auteur de plus de 40 articles de revue internationale, de 70 communications en conférences nationales et internationales. Il est co-inventeur de 5 brevets. Il cordonne et a coordonné plusieurs projets de recherche nationaux (ANR, InCa) et projets partenariaux avec des partenaires académiques, hospitalo-universitaires et industriels. Il est également responsable technique de la plateforme technologique Nanolyon sur le site de l’université Lyon 1.

English CV

Patrick Pittet was graduated in Electronic Engineering and holds Ph.D. and HDR degrees from the University of Lyon. From 1991 to 1994, he worked as a research engineer in digital signal processing with Thales (formerly Thomson CSF). From 1995 to 2001, he has held different R&D positions for medical devices companies. In December 2001, he joined the University of Lyon where he is currently a Research Engineer at the Institute of Nanotechnology of Lyon (INL). His current research interests include integrated sensors and innovative systems for biomedical applications. He has authored or co-authored more than 40 regular papers and 70 communications in national and international conferences as well as 5 patents. He is and has been the scientific coordinator for national research programs and industrial collaborative projects. He is the technical manager of the Nanolyon technological platform at the university lyon 1 site.

Projets

Projets de Recherche : Projet ANR Newloc (2020-2022 / TIMC-IMAG,INL, CHU Grenoble Alpes, SQI, THALES), Projet InCa Physique-Cancer QASys (2018-2020 / INL, TIMC-IMAG, HCL), Projet ANR-TECSAN DoRGaN ( 2012-2016 / INL, HCL, CHU Grenoble Alpes, Dosilab), Projet ANR-EMERGENCE Securidose ( 2008-2010 / INL, CHU Grenoble) ****** Projets collaboratif bilatéraux : Projet INL - Dosilab (2011-2020), Projet INL-Laclarée (2016-2020 ), Projet INL-SurgiQual Institute (2017-2018 )

PLOSSU Carole Professeur des Universités

PLOSSU Carole

PLOURDE Maxime Doctorant

PLOURDE Maxime

POITTEVIN Arnaud Doctorant

POITTEVIN Arnaud

PRUDON Gilles Maître de Conférences

PRUDON Gilles

PUYOO Etienne Maître de Conférences

PUYOO Etienne

QUIQUEREZ Laurent Maître de Conférences

QUIQUEREZ Laurent

RAZAGHI PEY GHALEH Masoumeh Doctorant

RAZAGHI PEY GHALEH Masoumeh

REGRENY Philippe Ingénieur de Recherche

REGRENY Philippe

REMAKI Boudjemaa Maître de Conférences

REMAKI Boudjemaa

Site : INSA

Equipe : Dispositifs Electroniques
INSA : Blaise Pascal 6ème étage - 04 72 43 83 27

CV

Identité et fonctions:

• REMAKI Boudjemaa, Maître de Conférences des Universités, 63 eme section,
• Etablissement : Université Claude Bernard Lyon1, Faculté des Siences et Technologies,
• Laboratoire de rattachement : Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL, UMR 5720).

Diplômes, qualifications et responsabilités :

• Ingénieur INSA, spécialité Génie Electrique (promotion 1980),
• Thèse de Doctorat sur les défauts d"irradiation ionique dans le silicium,
• Habilitation à diriger de recherches (HDR) en Sciences,
• Qualification aux fonctions de Professeur des Universités(sect. 63 et 28)
• Membre du Conseil National des Universités (CNU 63 eme section)
• Bénéficiaire de la PES

Domaines de compétences scientifiques et pédagogiques:

• Physique des dispositifs capteurs,
• Electronique sensorielle et Instrumentation,
• MEMS sur Silicium (Si) (actionnement électrostatique, récupération d"énergie environnementale)
• Si poreux: élaboration et applications

Activité de rechecrche:

Activité visant la recherche de nouveaux dispositifs fonctionnels (capteurs, microsystèmes,..) exploitant les technologies de la microélectronique et de la nanoélectronique silicium et matériaux compatibles. Une voie originale, basée sur l’exploitation des propriétés nano structurales du silicium poreux, est prospectée ces dernières années. L’objectif est d’élaborer des fonctions de stimulation, de détection et de traitement intégrées pour microsystèmes d’analyse, notamment en milieu biologique et chimique.

Les problèmes traités concernent la détermination des propriétés de transport électrique (nature des porteurs, propriétés de contact, mobilité, états localisés,…), l’identification et la modélisation des mécanismes transducteurs (effets thermiques, mécaniques, électromagnétiques,..) et la réalisation de démonstrateurs. Une part importante de mon travail est centrée sur l’étude des composants élémentaires sur silicium nano poreux (jonctions, transducteurs, nano canaux, couches diélectriques..) et leur caractérisation (tenue mécanique, propriétés de transport de charges électriques et de flux thermique..). Ces études, corrélées à l’évaluation directe des performances des dispositifs, nous ont déjà permis une avancée significative sur diverses réalisations : microcalorimètre, échangeur nano poreux pour pile à combustible, antenne rf, …

Liste complète des publications (revues internationales avec referees)

44. N. Alcheikh, P. Xavier, J. M. Duchamp, K. F. Schuster, C. Malhaire, B. Remaki, C. Boucher, X. Mescot,
Temperature dependence of the electromechanical characteristics of superconducting RF-MEMS switches
Microsyst Technol, (Jan 2014), DOI 10.1007/s00542-014-2083-1

43. A. Gharbi, B. Remaki, A. Halimaoui, D. Bensahel, A. Souifi,
High-density oxidized porous silicon
Semiconductor Science and Technology 27 doi:10.1088/0268-1242/27/10/105017 2012

42. Ahmed Gharbi, Boudjemaa Remaki, Aomar Halimaoui, Daniel Bensahel and Abdelkader Souifi
p-type silicon doping profiling using electrochemical anodization
J. Appl. Phys. 109, 023715 (2011); doi:10.1063/1.3534005

41. A. Gharbi, B. Remaki, A. Halimaoui, D. Bensahel, A. Souifi
Shallow Trench Isolation based on selective formation of oxidized porous silicon
Microelectronics Engineering 88 1214-1216 2011

40. A. Gharbi, B. Remaki, A. Halimaoui, D. Bensahel, and A. Souifi,
Investigation of current-voltage characteristics of p-type silicon during electrochemical anodization
Physica Status Solidi (c), 8/1 (2011). doi: 10.1002/pssc.201000343

39. A. Gharbi, A. Souifi, B. Remaki
Local anodization of silicon as a step for electrical isolation process,
IOP: Materials Science and Engineering 13 (2010).doi:10.1088/1757-899X/13/1/012026

38. A. Porcher, B. Remaki, C. Malhaire, D. Barbier,
Low energy loss rf circuits on nanostructured porous silicon,
Physica Status Solidi a, 205, 11 (2008), 2552-2555.

37. A. Porcher, B. Remaki, C. Populaire and D. Barbier,
Nanostructured porous silicon as thick electrical insulator for rf applications,
Physica Status Solidi a, 204, 6 ( 2007,) 1653-57.

36. E. Mery, C. Malhaire, B. Remaki and D. Barbier,
Electrical study of microfluidic channels based on chemically modified porous silicon,
Physica Status Solidi C, vol.4, 6 ( 2007) 2098-02.

35. C. Populaire, B. Remaki, M. Armenean, E. Perrin, O. Beuf,
H. Saint-Jalmes, D. Barbier, Integrated RF Micro-Coils on Porous Silicon,
Proceedings of the IEEE-Sensors-2004, vol.2, (2005) 1064 -6.

34. V. Lysenko, C. Populaire, B. Remaki, B. Champagnon, H. Artmann, T. Pannek, D. Barbier,
Stress effects in meso-porous silicon nanostructures,
Physica Status Solidi C, vol.2, 9, ( 2005) 3203-7.)

33. V. Lysenko,, J. Vitiello, B. Remaki, D. Barbier, V. Skryshevsky
Nanoscale morphology dependent hydrogen coverage of meso-porous silicon
Applied Surface Science 230 (2004) 425–430

32. Lysenko,-V.; Vitiello,-J.; Remaki,-B.; Barbier,-D.
Gas permeability of porous silicon nanostructures
Physical-Review-E, July 2004; 70(1): 17301-1-4

31. C. Populaire, B. Remaki, V. Lysenko, D. Barbier, H. Artmann, T. Pannek,
On mechanical properties of nanostructured meso-porous silicon,
Applied-Physics-Letters, 83 N7, (2003) 1370-1372

30. B. Remaki, C. Populaire, V. Lysenko, and D. Barbier,
Barrier Properties of meso-porous silicon
Material Science & Engineering- B, B 101, (2003) 313-317

29. V. Lysenko, S. Perichon, B. Remaki, D. Barbier,
Thermal isolation in miscrosystems with porous silicon,
Sensors & Actuators, A 99 (2002) 13-24.

28. B. Remaki, S. Perichon, V. Lysenko, D. Barbier,
Electrical transport in porous silicon from improved complex impedance analysis
Mat. Res. Soc. Proc. 638 (2001) 321-326.

27. S. Périchon, V. Lysenko, B. Remaki, D. Barbier,
Doubled sided porous silicon on patterned substrates,
Mat. Res. Soc. Proc. 657 (2001) 521-526.

26. S. Perichon, V. Lysenko, B. Remaki, D. Barbier,
Porous silicon in microsystems: thermal isolation applications,
Solid State Phenomena, vols. 80 – 81 (2001) 417-428.

25. S. Perichon, V. Lysenko, Ph. Roussel, B. Remaki, D. Barbier, P. Pinard,
Technology and Micro-Raman characterization of tick meso-porous silicon layers for thermal effect microsystems,
Sensors & Actuators, A 85 (2000) 335 – 339.

24. V. Lysenko, B. Remaki, D. Barbier
Double-Sided Mesoporous Silicon Formation for Thermal Insulating Applications,
Advanced Materials 12, N7 (2000) 516-519.

23. V. Lysenko, Ph. Roussel, B. Remaki, G. Delhomme, C. Martelet, D. Barbier, A. Dittmar,
Formation and oxidation of thick and mechanically stable nanoporous silicon for applications as thermal insulating materials,
Journal of Porous Materials, 7 (2000) 177-182.

22. S. Perichon, P. Roussel, V. Lysenko, B. Remaki, D. Barbier, J. Tritto, G. Delhomme,
A. Dittmar, Micro-blood flow measurement using thermal conductivity,
Proceedings IEEE EMBS , Piscataway, NJ, USA (2000) 184 – 187.

21. S. Perichon, V. Lysenko, B. Remaki, B. Champagnon, D. Barbier.
Measurements of thermal conductivity in porous silicon by micro-Raman scattering,
Journal of Applied Physics, 86 N8 (1999) 4700-4702.

20. V. Lysenko, L. Boarino, M. Bertola, B. Remaki, A. Dittmar, G. Amato, D. Barbier,
Theoritical and experimental study of heat conduction in as-prepared and oxidized meso-PS,
Microelectronics Journal, 30 (1999) 1141-1147.

19. V. Lysenko, S. Perichon, B. Remaki, D. Barbier,
Thermal conductivity of thick meso-porous silicon layers by micro-raman scattering,
Journal of Applied Physics, 86 N12 (1999) 6841-6846.

18. Ph. Roussel, V. Lysenko, B. Remaki, G. Delhomme, A. Dittmar, D. Barbier.
Thick oxidized PS layers for design of a biomedical thermal conductivity microsensors,
Sensors & Actuators A 74 (1999) 100-103.

17. B. Remaki, G. Guillaud, D. Mayes.
Space charge analysis in doped zinc phthalocyanine thin films,
Optical Materials, 9 (1998) 240-244.

16. L. Kaabi, J. Ben Brahim, B. Remaki, C. Gontrand, H. El Omari, J.C. Bureau, Z. Sassi, B. Balland, The residual electrically active damage in low energy boron implanted silicon,
Europeen Physical Journal, AP3 (1998) 49-52.

15. Ph. Roussel, V. Lysenko, B. Remaki, G. Delhomme, D. Barbier, A. Dittmar,
Steady state and transient finite elements thermal analysis of Si/PS microsensors
Eurotherm N57 (1998) 305-313.

14. L. Kaabi, C. Gontrand, P. Pinard, B. Balland, B. Remaki, M. Gamoudi, G. Guillaud,
Ionic implantation at low energy: application to shallow junctions and accomplishment of surface functionnalization,
Synthetic Metals 90 (1997) 217-221.

13. R. Benchaabane, M. Gamoudi, B. Remaki, G. Guillaud, O. Elbeqqali,
Investigation of the electrical properties of the metal-calixarene–semiconductor structures,
Thin Solid Films, 296 (1997) 148-151.

12. L. Kaabi, B. Remaki, C. Gontrand, P.F. Lo, B. Balland,
The effect of rapid thermal treatments on the formation of shallow junctions,
J. of Nucl. Inst. & Meth. Physics research B, 112 (1996) 196-200.

11. L. Kaabi, C. Gontrand, M. Lemiti, B. Remaki, B. Balland, O. Marty,
Investigation of BF2+ implants in silicon through SiO2 films.
J. of Nucl. Inst. & Meth. Physics research B, 112 (1996) 68-73.

10. L. Kaabi, C. Gontrand, B. Remaki, F. Seigneur, B. Balland,
Analysis of low energy boron implants in silicon trough SiO2 films,
Microelectronics Reliability, 36(3) (1996), 455-456.

9. C. Jouve, D. Jullien, B. Remaki,
Conductive polyethylene as sensitive layer for gas detection,
Sensors & Actuators B, 28 (1995), 75-80.

8. C. Jouve, D. Jullien, B. Remaki,
AC and DC conductivities in metal / composite / metal sandwich, Synthetic Metals, 66 (1994), 197-202.

7. L. Kaabi, C. Gontrand, B. Remaki, F. Seigneur, B. Balland,
Analysis of low energy boron implants in silicon,
Microelectronics Journal, 25 (1994), 567-576.

6. B. Remaki, D. Jullien , C. Jouve,
Barrier properties of conducting polyethylene with gold and silicon,
Sensors and Actuators A, 33 (1992) , 85-89.

5. B. Remaki, J.J. Marchand and B. Balland,
The influence and protecting mask on electrically active defects... Journal of Electonic Materials 18 N1 (1989) , 85-90.

4. B. Balland, B. Remaki, J.J. Marchand,
NECM: free carrier profilometry in semiconductors...
J. Phys. E: Sci. Instrum. 21 (1988), 559-564.

3. B. Remaki, B. Balland,
Nouvelle méthode de profilométrie capacirive de porteurs libres...
Revue de Physique Appliquée 22 (1987), 1381-1388.

2. A. Ronda, A. Glachant, C. Plossu, B. Remaki, B. Balland,
Nitridation of SiO2 films for VLSI...
Journal de Physique (1986), 239-245.

1. B. Balland, B. Remaki, P. Pinard, A. Mercier,
Défauts induits dans Si par implantation directe ou à travers une couche de SiO2,
Journal de Physique, 44 (10) (1983), 319-325.

RENAUD Louis Maître de Conférences

RENAUD Louis

RIGAULT Samuel Doctorant

RIGAULT Samuel

ROBACH Yves

Site : ECL

Equipe : Hétéroépitaxie et Nanostructures
ECL :

CV

Yves ROBACH
Née le 29/01/53
Marié, 2 enfants
Tél. : 04 72 18 62 38 Fax : 04 72 18 60 90
E-mail :

Situation actuelle :
Professeur 2ème classe à l’Ecole Centrale de Lyon (ECL), 69134 ECULLY
Département Sciences et Techniques des Matériaux et des Surfaces (STMS) et Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL), UMR CNRS 5270
Directeur du Département STMS depuis 2007

Expériences professionnelles antérieures :
Janvier 83: Assistant à l"E.C.L. (Titularisation le 1er janvier 84).
Juin 87: Maître de Conférences 2ème classe à l"E.C.L. (Titularisation le 1er juin 89).
1er Juin 90: Maître de Conférences 1ère classe à L"ECL.
Septembre 2002 : Professeur 2ème classe à l’ECL

Formation
- Doctorat d’Etat de l’Université Claude Bernard – Lyon I, (1989)
- Docteur – Ingénieur de l"Université Louis Pasteur – Strasbourg (1983)
- DEA Spécialité: Biophysique des membranes biologiques à l"Université Paris XI – Orsay (1978)
- Ingénieur E.S.P.C.I. (Ecole Supérieure de Physique et Chimie Industrielles de Paris), (1977)

Responsabilités collectives :
Direction du Département STMS depuis 2007.
Membre du CA de l’ECL depuis 2006.
Participation la commissions de spécialistes 28/31/33 de l’ECL et président de la commission depuis 2006.

Enseignement :
Domaines d’activité : Physique microscopique, Physique des Surfaces et des Couches Minces, Interaction rayonnement - matière, Nanotechnologies, Ingénierie nucléaire.

Thématiques de recherche:
Microscopies champ proche (STM, AFM), Croissance épitaxiale de couches contraintes, Caractérisation de surfaces et couches minces pour applications en micro- et optoélectronique.
Auteur de 50 publications dans des revues à comité de lecture
Direction ou co-direction de 6 thèses.

Publications significatives des cinq dernières années
- M. ABEL, Y. ROBACH, L. PORTE
Stress induced surface structures and reactivity of thin layer Pd/Cu(110) deposits, Surface Science, 498, 244 (2002).

- Y. ROBACH, M. ABEL, L. PORTE
Initial stages of Pd deposition on Au(110) : a STM, LEED and AES studySurf. Science, 526, 248(2003).

- J. KAPSA, Y. ROBACH, G. HOLLINGER, M. GENDRY, J. GIERAK, D. MAILLY, STM and FIB nanostructuration of surfaces to localise InAs/InP(001) quantum dots, Appl. Surf. Sci., 226, 31 (2004).

- G. DELHAYE, S. GAILLARD, C. MERCKLING, M. El KAZZI, M. GENDRY, G. HOLLINGER, Y. ROBACH, Formation of epitaxial strontium oxide and silicate on silicon (001), Journal of Physics IV France, 132, 285 (2005).

- E. DUPUY, P. REGRENY, Y. ROBACH, M. GENDRY, N. CHAUVIN, E. TRANVOUEZ, G. BREMND, C. BRU6CHEVALLIER, G. PATRIARCHE, Low density of self-assembled InAs quantum dots grown by solid source mleular beam epitaxy on InP(001), Appl. Phys. Lett., 89, 123112 (2006).

- G. DELHAYE, C. MERCKLING, M. El KAZZI, G. SAINT-GIRONS, M. GENDRY, Y. ROBACH, G. HOLLINGER, L. LARGEAU, G. PATRIARCHE, Structural properties of epitaxial SrTiO3 thin films grown by molecular beam epitaxy on Si(001), J. Appl. Phys., 100, 124109 (2006).

- M. El KAZZI, G. DELHAYE, C. MERCKLING, E. BERGIGNAT, Y. ROBACH, G. GRENET, G. HOLLINGER, Epitaxial growth of SrO on Si(001), J. Vac. Sci. Techn. A, 25 (6), 1505 (2007).

ROBIN Olivier Professeur des Universités

ROBIN Olivier

ROJO ROMEO Pedro Maître de Conférences

ROJO ROMEO Pedro

SAINT-GIRONS Guillaume Directeur de Recherche

SAINT-GIRONS Guillaume

Site : ECL

Equipe : Hétéroépitaxie et Nanostructures
ECL : Bât. F7 - 2ème étage - 04 72 18 65 97

CV

Guillaume Saint-Girons (39 ans) a obtenu son diplôme de thèse de l’université Paris VI (spécialité Science des matériaux) en 2002, après une thèse au LPN (Marcoussis). Il est titulaire du diplôme d’HDR de l’université de Lyon depuis 2009. Il est chargé de recherches au CNRS depuis 2002, et il a exercé au LPN de 2002 à 2006, et à l’INL (depuis 2006). Il est expert de la croissance épitaxiale (MBE et MOCVD) de semiconducteurs et d’oxydes, et de l’étude de leurs propriétés structurales et fonctionnelles.
Il est co-responsable de l’équipe Hétéroépitaxie et Nanostructures de l’INL depuis 2010, et directeur du laboratoire commun INL-RIBER. Il est membre du bureau du GDR PULSE sur l’épitaxie, et a été membre du conseil du département EEA de l’école centrale de Lyon jusqu’en 2015. Il a participé à l’organisation de plusieurs conférences internationales (chair de la session oxydes de la conférence IC-MBE 2016, membre des comités scientifiques des éditions 2014 et 2015 de la conférence IPRM, membre du comité scientifique de la conférence EMRS 2012,…) et de nombreux workshops nationaux. Il a effectué des activités de consultance pour la société RIBER, et a organisé des modules de formation professionnelle pour la société SOITEC.
Il a coordonné 5 projets de recherche contractuels nationaux (ANR, minefi, région Rhône-Alpes), et est actuellement workpackage leader dans le projet européen STREP-FP7 SITOGA (BaTiO3 ferroélectrique intégré sur SOI pour la photonique). Il a participé à 31 autres projets de recherché contractuels. Il a participé à 21 jurys de thèse (dont un à l’ICMAB-Barcelone et un à l’IMEC-Belgique), il a dirigé 7 thèses et co-dirigé 9 autres thèses. Il a donné plus de 275 heures d’enseignement à différents niveaux universitaires. Il est auteur ou co-auteur de 35 interventions invitées dans des conférences internationales, de 3 brevets, de 107 articles dans des revues internationales à comité de lecture et de plus de 110 contributions dans des conférences internationales (H-factor 21 (Scholar)).

English CV

Guillaume Saint-Girons (39 years old) received his PhD degree in Material Science from the Paris VI university in 2002. He completed his PhD at LPN (Marcoussis). He received his HDR degree from Lyon university in 2009. He is senior researcher at CNRS since 2002, working at LPN (Marcoussis) from 2002 to 2006 and at INL since 2006. He is expert in the epitaxial growth (MBE and MOCVD) of semiconductors and oxides, and in the study of their structural and functional properties.
Co-head of the heteroepitaxy and nanostructures group at INL since 2010, he is director of the INL-RIBER (MBE products) joint laboratory, member of the board of the French GDR “PULSE” GDR on epitaxial growth and has been member of the advisory board of the EEA department of Ecole Centrale de Lyon until 2015. He participated to the organization of several international conferences (chair of the oxide session at IC-MBE 2016 conference, member of the scientific committees of the 2014 and 2015 editions of the IPRM conference, member of the committee of the EMRS 2012 conference, …) and of numerous national workshops. He performed consulting activities for the RIBER society, and organized professional formations for the SOITEC company.
He coordinated 5 French research projects (ANR, Minefi, Rhône-Alpes region), he is workpackage leader in the ongoing European STREP-FP7 project SITOGA (ferroelecric BaTiO3 integrated on SOI for photonics), and he participated 31 other contractual research projects. He participated to 21 PhD thesis boards (including one at ICMAB-Barcelona and one at IMEC-Belgium), directed 7 PhDs and co-directed 9 other PhDs. He delivered more than 275 hours of teaching at various university levels. He authored or co-authored 35 invited contributions to conferences, 3 patents, 107 articles in international peer-reviewed journals, and more than 110 contributions to international conferences (H-factor 21 (Scholar)).

Projects

- Functional oxide heterostructures grown by MBE - integration on Si and GaAs
-Physicochemistry of heterogeneous semiconductor/oxide heterointerfaces
-Structural and functional properties of semiconductor/oxide heterostructures
-Oxide/semiconductor based devices for photonics

SARELLI Eirini Doctorant

SARELLI Eirini

SEASSAL Christian Directeur de Recherche

SEASSAL Christian

Site : ECL / INSA / UCB / CPE

Equipe : i-lum
ECL : Bât. F7, 2ème étage - 04 72 18 60 64
INSA : Bât. Blaise Pascal, 6ème étage -

CV

Christian Seassal est Directeur de Recherche au CNRS. Il est Ingénieur de l"Insitut National des Sciences Appliquées de Lyon (1993), et Docteur de l"Ecole Centrale de Lyon (1997). Il a intégré le CNRS en 1998, et est à présent Directeur-Adjoint de l"INL. Ses activités de recherche ont concerné les Microsystèmes-Opto-Electro-Mechaniques (MOEMS) en semiconducteurs III-V. Il travaille actuellement sur les nanostructures et cristaux photoniques, et leurs applications pour la photonique intégrée et le solaire photovoltaïque. Il est auteur et co-auteur d"environ 100 articles dans des revues internationales, 50 conférences invitées, et 100 contributions dans des conférences internationales. Membre des sociétés OSA et IEEE, il est Deputy Editor pour la revue Optics Express, et Editeur de son supplément Energy Express. Il a reçu la médaille de bronze du CNRS en 2002.

English CV

Christian Seassal is Research Director at CNRS. He graduated from Insitut National des Sciences Appliquées de Lyon, France, in 1993, and received the PhD Degree in Condensed Matter in 1997 from Ecole Centrale de Lyon, France. He joined the CNRS in 1998, and he is now Deputy Director of INL. His research activities have concerned Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems (MOEMS) based on III-V compound emiconductors. His current research interest focus on photonic crystals and nanostructures for integrated photonics and photovoltaics. He is the author and co-author of approximately 100 papers in international journals, 50 invited conferences and contributed to 100 international conferences. He is Deputy Editor to Optics Express and Editor of its Energy Express supplement. He recieved the CNRS bronze medal in 2002.

Projects

-Investigation and exploitation of light confinement in microcavities and periodic structures.
-Investigation of active structures and devices (microlasers, non linear and quantum structures and devices).
-New fabrication processes and characterisation systems for nanophotonic structures.
-Development of new concepts and new heterogeneous III-V/Silicon integration technologies.
-Development of new concepts of photovoltaic components using photonic engineering.

SECK Tegue CDD ITA

SECK Tegue

SEGANTINI Greta Doctorant

SEGANTINI Greta

SIMON Blandine Stagiaire

SIMON Blandine

SINOBAD Milan CDD Chercheur

SINOBAD Milan

SOUIFI Abdelkader Professeur des Universités

SOUIFI Abdelkader

STRUSS Quentin Doctorant

STRUSS Quentin

SUSLEC Annie Assistant Ingénieur

SUSLEC Annie

SYNHAIVSKYI Oleksandr Doctorant

SYNHAIVSKYI Oleksandr

TAFRAOUTI Asmae Doctorant

TAFRAOUTI Asmae

TAITT Rachael Doctorant

TAITT Rachael

TAURELLE Marjorie Technicien

TAURELLE Marjorie

TAUTE Arnaud Doctorant

TAUTE Arnaud

TERRIER Nicolas Assistant Ingénieur

TERRIER Nicolas

TRAIOLA Marcello CDD Chercheur

TRAIOLA Marcello

URBAIN Mathias Doctorant

URBAIN Mathias

VERDIER Jacques Maître de Conférences

VERDIER Jacques

VIDAL DE NEGREIROS DA SILVA Thais-Luna Doctorant

VIDAL DE NEGREIROS DA SILVA Thais-Luna

VIKTOROVITCH Pierre

Site : ECL

Equipe : i-lum
ECL : F7 2ème étage - 04 72 18 60 66

CV

Les activités de recherche de P. VIKTOROVITCH, Directeur de recherche au CNRS, ont couvert les domaines suivants : composants microélectroniques silicium, conversion photovoltaïque de l’énergie solaire à base de silicium amorphe, composants microélectroniques à semiconducteurs composés III-V. Ses activités actuelles sont centrées sur la Micro-Nano-Photonique et concernent, notamment, les systèmes Micro-Opto-Electro-Mécaniques (MOEMS) à base de semiconducteurs composés, les dispositifs Micro-Nano-Photoniques à base de cristaux photoniques ainsi que l’intégration hétérogène (ou hybride) active-passive III-V / silicium.
Il est auteur et co-auteur d’environ 130 articles dans les Journaux Internationaux, 130 publications dans les Conférences Internationales, 65 Conférences invitées, 6 contributions à des ouvrages et 8 brevets.
Il a travaillé successivement au Laboratoire de Physique des Composants à Semiconducteurs /LPCS, ENSERG Grenoble (1970-1979), à l’Université de Harvard - Division of Applied Sciences, Cambridge, Mass. US (1979-1981) et à rejoint l’Ecole Centrale de Lyon comme Directeur (1981-1993) du Laboratoire d"Electronique/LEAME.

English CV

The research activities of P. VIKTOROVITCH, Research Director at CNRS, have been concerned with silicon microelectronic devices, photovoltaic solar energy conversion devices based on amorphous silicon, III-V compound semiconductor microelectronic devices. His current research interests concern Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems (MOEMS) based on III-V compound Semiconductors, micro-nano-photonic devices (especially based on Photonic Crystals) and III-V - Silicon / active - passive heterogeneous or hybrid integration.
He is author and co-author of around 130 articles in International Journals, 130 publications in International Conferences, 65 invited Conferences, 6 book contributions and 8 patents.
He was successively with Laboratoire de Physique des Composants à Semiconducteurs /LPCS, ENSERG Grenoble (1970-1979), Harvard University - Division of Applied Sciences, Cambridge, Mass. US (1979-1981) and joined Ecole Centrale de Lyon as head (1981-1993) of the Laboratoire d"Electronique/LEAME.

Projects

Micro-Nano-Photonics: Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems (MOEMS) based on III-V compound Semiconductors, Photonic Crystals and III-V - Silicon heterogeneous integration. New concepts: for ex. 2.5D Micro-Nano-Photonics, hybridization of dielectric photonic crystals with plasmonics.

VILQUIN Bertrand Maître de Conférences

VILQUIN Bertrand

Site : ECL

Equipe : Hétéroépitaxie et Nanostructures
ECL : F7 4ème étage - 04 72 18 62 54

CV

Titulaire d’un doctorat en sciences des matériaux concernant les films ferroélectriques, Bertrand Vilquin a été, entre 2003 et 2005 post-doctorant à l’Université d’Osaka (Japon) où ses activités concernaient la fabrication de dispositifs magnétiques à base d’oxydes ferromagnétiques. Il a ensuite travaillé sur un projet industriel (nouvelles générations de MRAM) de la société Altis Semiconductors (coentreprise IBM-Infineon) au sein de l’Université Paris 11 avant d’être recruté comme maitre de conférences (28ème section CNU) à l’école centrale de Lyon (www.ec-lyon.fr) en septembre 2006. Ses enseignements concernent différents domaines de la physique (optique, physique du solide). Il est par ailleurs coordinateur du master international de l'Université de Lyon "Nanoscale Engineering" (master-nano.universite-lyon.fr) et coresponsable de l’option Bio-Ingénierie et Nanotechnologies en 3ème année.
Chercheur à l’institut des nanotechnologies de Lyon (INL), ses activités concernent l’intégration d’oxydes cristallins fonctionnels (ferroélectrique, piézoélectrique, ferromagnétique) sur silicium, SiC et graphène et la réalisation de dispositifs innovants utilisant leurs propriétés originales pour la nano-électronique, la récupération d’énergie et la détection.
Bertrand Vilquin a été coordinateur de plusieurs projets de l’agence nationale de la recherche ANR (projets MINOS et SURF-FER) et du laboratoire d’excellence LABEX iMUST (projet MOX). Il est par ailleurs responsable d'un workpackage dans le projet européen H2020 3eFERRO (www.3eferro.eu).
Il collabore avec l’unité mixte internationale (UMI) LN2 du CNRS localisée à l’Université de Sherbrooke (Canada) ainsi qu’avec l'université et Osaka (Japon) où il fut professeur invité en 2012 et l'université de Tokyo où il fut professeur invité en 2016. Il bénéficie de la prime d’encadrement doctoral et de recherche depuis 2010 et est habilité à diriger les recherches (HDR) depuis 2018.
Liste des publications :
https://cv.archives-ouvertes.fr/bertrand-vilquin

English CV

• 2003 Laboratory of Prof. B. Raveau (CRISMAT) University of Caen (France)
Doctorate of Philosophy in Inorganic Chemistry.
Thesis: Synthesis and characterization of ferroelectric PZT thin films grown by sputtering.

• 2003-2005 Institute of Scientific and Industrial Research Osaka University (Japan)
Post-doctorate researcher, Professor Tomoji Kawai"s lab. JSPS fellowship (Japanese Society for Promotion of Science).
Subject : New nano-devices based on functionnal oxides.

• 2005-2006 Institut d"Electronique Fondamentale Université Paris-Sud (France)
R&D researcher for Altis Semiconductors.
Subject: Development of the New Generation of MRAM (NG-MRAM).

• Since Sept. 2006: Associate-Professor (Solid State Physics) at Ecole Centrale de Lyon.

• Coordinator of ANR projects: MINOS (2008-2011) & SURF-FER (2010-2013).

• March 2012: Invited Professor at Osaka University (JSPS Bridge Program).
• July 2016: Invited Professor at The University of Tokyo.
WorkPackage coordinator:
- ANR PIEZO2POWER (2011-2015)
- ANR INTENSE (2015-2017)
- H2020 ICT 3eFERRO (2018-2021)
List of publications:
https://cv.archives-ouvertes.fr/bertrand-vilquin

Projets

Integration d'oxydes fonctionnels sur silicium.
Caractérisations structurales et électriques d'oxydes de métaux de transition.
Fabrication de dispositifs utilisant les oxydes fonctionnels pour des applications en nanoelectronique, détection et récupération d'énergie.

Projects

Integration of functional oxides on Si.
Structural and electrical characterizations of transition metal oxides.
Fabrication of devices for nanoelectronics, sensing and energy harvesting using functional oxides.

VINCENT Mathieu Doctorant

VINCENT Mathieu

VINCENT Daniel Technicien

VINCENT Daniel

WOOD Thomas CDD Chercheur

WOOD Thomas

YANG Zihua Doctorant

YANG Zihua

YEROMONAHOS Christelle Maître de Conférences

YEROMONAHOS Christelle

ZHANG Yu Doctorant

ZHANG Yu

ZROUNBA Clément Doctorant

ZROUNBA Clément