Nanodispositifs électroniques : caractérisation multi-physique et multi-échelle

La caractérisation multi-physique et multi-échelle des propriétés des dispositifs, en particulier :
1. La caractérisation mécanique de couches minces,
2. La caractérisation électrique de nano-dispositifs (structures MOS, composants mono-électroniques) depuis le millimètre jusqu’au nanomètre :
a. Caractéristiques Intensité-Tension, Intensité-Temps, Capacité-Tension, Pompage de charge etc. sur bancs sous pointes à température et fréquence variables.
b. Mesures électriques par les méthodes dérivées de la microscopie à force atomique : Les microscopes à forces atomiques (AFM) de l’équipe sont équipés pour la mesure de courant CAFM (conductive-AFM), et de propriétés ferroélectriques PFM (Piezoresponse Force Microscopy – PFM, et DFRT-PFM Dual Frequency Resonance Tracking) Piezoresponse Force Microscopy). L’accès au 3ème microscope présent au CLYM permet d’y ajouter les mesures de capacité.

INL CNRS