Acquisition d’un réacteur PVD dans le cadre du projet européen FEDER CARAT 2020

Un deuxième équipement a été acquis, pour un coût de 250 000 Euros HT, un bâti de dépôt par canon à électrons pour pour les dépôts métalliques « haute vitesse » épais du cm² au substrat de 200mm.

Fin novembre 2019 (marché notifié fin décembre 2019), l’INL-CNRS a acquis un bâti PVD métallique EVA601 Alliance Concept. Il sera installé à l’INL Site INSA courant juin 2020.

L’équipement doit permettre de déposer des métaux sur tous les types de substrats (isolants, semi-conducteurs ou conducteurs) et ce de manière directionnelle pour faciliter par exemple soulèvement des couches déposées (méthode ‘lift-off’). Il sera équipé d’un porte échantillon (pour des échantillons du cm² à 200 mm de diamètre) tournant et inclinable. Il sera doté d’un canon à électrons 10kV à 4 creusets dont un ‘grande’ capacité pour les dépôts épais.

INL CNRS