3D monolithically integrated SPAD pixels in advanced CMOS FDSOI technology

SPAD FD-SOI

Contact

Project leader : Francis Calmon

INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon
INSA-Lyon
7, Avenue Jean Capelle - Bât. Blaise Pascal
F- 69621 Villeurbanne Cedex
Tel: (33) (0) 4 72 43 61 59
Email: francis.calmon@insa-lyon.fr
http://inl.cnrs.fr