Electronic Devices

Head of the group:

Francis CALMON
Brice GAUTIER

L’équipe Dispositifs Electroniques (DE) développe et intègre des technologies micro-nano-électroniques afin de réaliser de nouvelles fonctions à base de nanocomposants, capteurs, microsystèmes, systèmes intégrés hétérogènes 3D répondant aux besoins sociétaux notamment liés à la santé & l’environnement (diagnostic de maladie), la société numérique (composants alternatifs pour le calcul, le stockage de l’information) … avec un souci d’efficacité énergétique (ex. nanocomposant à ultra-faible consommation, récupération d’énergie vibratoire).

 

Ses axes de recherche concernent principalement : les micro-nano-systèmes (ex. récupération énergie, micro-aiguille implantable, intégration 3D), les dispositifs nanoélectroniques (ex. monoélectronique), l’intégration de matériaux innovants sur silicium et l’étude de leurs propriétés (ex. multi-ferroïques, silicium poreux, polymères électro-actifs).

 

Les compétences scientifiques des membres de l’équipe DE couvrent : la modélisation physique de nano-dispositifs et composants, la caractérisation électrique multi-échelle, la nano-caractérisation mécanique, la nano-métrologie, l’analyse par sonde ionique SIMS et les technologies de micro-nano-fabrication. L’équipe possède des compétences en micro-nano-technologies silicium et mène le développement technologique nécessaire à la réalisation de ses propres objets d’études et dispositifs électroniques/microsystèmes au sein de la plate-forme technologique NanoLyon mais également au CIME et à la PTA de Grenoble.

 

Equipements/moyens : caractérisations électrique et mécanique à l’échelle micro-nano-métrique, caractérisation physico-chimique, outils de simulation et de CAO, plateforme technologique NanoLyon.

 

Mots-clés : Micro-Nano-électronique, Micro-Nano-technologies, Micro-Nano-systèmes, Microscopie à champ proche, AFM, SIMS, simulation, modélisation, caractérisation.

 

Partenariat et contrats (liste non-exhaustive):

  • projet européen Initial Training Network “INFIERI” (2013-2017), voir vidéo de présentation
  • projet PA-LSE micro-aiguille implantable “Neuromeths”
  • projet ANR “GALIMEO” (2012-2014)
  • projet MEMS récupération d’énergie ANR “PIEZO2POWER” (2012-2014)
  • projet mono-électronique ANR international “SEDIMOS” (2010-2013)

Highlights

Capteurs mécaniques flexibles à nanocracks

Implantable Silicon Microsensors for the Diagnosis of Neurological Disease

Keys to control the nanocrystalline growth of visible bandgap multiferroic BiFeO3

Integration of SPAD in CMOS 28nm FDSOI technology

3D Silicon Coincidence Avalanche Detector (3D-SiCAD)

Huge gain in pyroelectric energy conversion through epitaxy for integrated self-powered nanodevices

10 ans de l’INL – On en parle

Croissance et ferroélectricité de BaTiO3 épitaxié sur Si

Transistors mono-électroniques métalliques sur CMOS.

Energy Efficient Embedded Non-Volatile Memory & Logic Based on Ferroelectric Hf(Zr)O2