Electronic Devices

Head of the group:

Francis CALMON
Brice GAUTIER

L’équipe Dispositifs Electroniques (DE) développe et intègre des technologies micro-nano-électroniques afin de réaliser de nouvelles fonctions à base de nanocomposants, capteurs, microsystèmes, systèmes intégrés hétérogènes 3D répondant aux besoins sociétaux notamment liés à la santé & l’environnement (diagnostic de maladie), la société numérique (composants alternatifs pour le calcul, le stockage de l’information) … avec un souci d’efficacité énergétique (ex. nanocomposant à ultra-faible consommation, récupération d’énergie vibratoire).

 

Ses axes de recherche concernent principalement : les micro-nano-systèmes (ex. récupération énergie, micro-aiguille implantable, intégration 3D), les dispositifs nanoélectroniques (ex. monoélectronique), l’intégration de matériaux innovants sur silicium et l’étude de leurs propriétés (ex. multi-ferroïques, silicium poreux, polymères électro-actifs).

 

Les compétences scientifiques des membres de l’équipe DE couvrent : la modélisation physique de nano-dispositifs et composants, la caractérisation électrique multi-échelle, la nano-caractérisation mécanique, la nano-métrologie, l’analyse par sonde ionique SIMS et les technologies de micro-nano-fabrication. L’équipe possède des compétences en micro-nano-technologies silicium et mène le développement technologique nécessaire à la réalisation de ses propres objets d’études et dispositifs électroniques/microsystèmes au sein de la plate-forme technologique NanoLyon mais également au CIME et à la PTA de Grenoble.

 

Equipements/moyens : caractérisations électrique et mécanique à l’échelle micro-nano-métrique, caractérisation physico-chimique, outils de simulation et de CAO, plateforme technologique NanoLyon.

 

Mots-clés : Micro-Nano-électronique, Micro-Nano-technologies, Micro-Nano-systèmes, Microscopie à champ proche, AFM, SIMS, simulation, modélisation, caractérisation.

 

Partenariat et contrats (liste non-exhaustive):

  • projet européen Initial Training Network “INFIERI” (2013-2017), voir vidéo de présentation
  • projet PA-LSE micro-aiguille implantable “Neuromeths”
  • projet ANR “GALIMEO” (2012-2014)
  • projet MEMS récupération d’énergie ANR “PIEZO2POWER” (2012-2014)
  • projet mono-électronique ANR international “SEDIMOS” (2010-2013)

Highlights

Capteurs mécaniques flexibles à nanocracks

Integration of SPAD in 28nm FDSOI CMOS technology

10 ans de l’INL – On en parle

3D Silicon Coincidence Avalanche Detector (3D-SiCAD)

Huge gain in pyroelectric energy conversion through epitaxy for integrated self-powered nanodevices

Croissance et ferroélectricité de BaTiO3 épitaxié sur Si

Micro-capteurs implantables en Silicium pour le diagnostic de maladies neurologiques

Transistors mono-électroniques métalliques sur CMOS.

Nanopompage de charge par AFM en mode contact