La plateforme technologique Nanolyon

l mosaiquesiteweb

 

La plate-forme technologique Nanolyon, identifiée nationalement comme plate-forme de proximité depuis 2002, rassemble des équipements de technologie performants, flexibles et facilement accessibles. La plateforme permet de développer les nanotechnologies en combinant les savoir-faire des communautés Ingénierie et les forces existantes en Chimie, Biologie, Médecine, Matériaux et Physique. C’est l’outil privilégié qui permet d’offrir aux acteurs de la recherche lyonnaise (fondamentale et appliquée) un parc complet d’outils et des expertises spécifiques permettant l’émergence de filières technologiques originales. La plate-forme constitue un outil (formation, encadrement, pour une utilisation en libre-accès) au service de projets pour le développement de nanotechnologies, de nanomatériaux, de nanocomposants et de nanocaractérisations. De plus Nanolyon constitue un support important à l’enseignement universitaire.


L’ensemble des équipements de la plate-forme dédiés Micro-Nano-Bio-Technologies permet de mettre en place des filières spécifiques d’assemblage de dispositifs discrets avec pour taille standard des substrats de quelques cm² jusqu’à 100 mm (certains équipements pouvant accepter jusqu’à 200 mm). La plate-forme dispose des compétences et savoir-faire pour la réalisation d’opérations technologiques standard et pour mettre en oeuvre des procédés/filières technologiques spécifiques. Les moyens technologiques se répartissent sur une surface totale de 1200 m², dont 600 m² en salles blanches (ISO7 à ISO5) et le reste en salles propres (ISO8). 

 

Thématiques scientifiques prioritaires

- Matériaux : intégration sur silicium de nouvelles fonctions (hétéroépitaxie de III-V et d’oxydes, Si poreux)
- Photonique : composants nanophotoniques ultimes, circuits intégrés photoniques, MOEMS,…
- Photovoltaïque : cellules solaires 2ème et 3ème générations
- Composants Nanoélectroniques alternatifs
- Composants de puissance à base de SiC (pilotage par Ampère)
- Bio/Santé : nanomatériaux et microdispositifs pour diagnostic (capteurs, biopuces, labs on chip…)
- Agrégats : synthèse par voie physique et caractérisation de matériaux nanostructurés parfaitement calibrés en stoechiométrie à base d’agrégats de taille nanométrique (PLYRA – Fédération Ampère)

 

Bilan chiffré


Personnel

La plate-forme lyonnaise accueille une trentaine d’enseignants-chercheurs et chercheurs, 30 à 40 doctorants/post-doctorants/Stagiaires, directement utilisateurs des moyens et s ‘appuie sur 20 personnels ITA/ITARF dont 5 directement impliqués dans les développements de procédés.
 

Budget Annuel non consolidé (hors salaire permanents)
Le coût global des infrastructures hors process s’élève au coût du jour à environ 5 M€ HT. Le coût global des équipements achetés neufs est de l’ordre de 10 M€. Un plan d’investissement annuel en équipement neuf ou jouvence est mis en place.

Les frais de fonctionnement annuels s’élèvent à 500 K€. Près de 80% sont dédiés au fonctionnement général (consommables, fluides, maintenance) et 20% à du petit équipement (jouvence ou implantation). Les ressources pour le fonctionnement proviennent essentiellement de ressources contractuelles (80 %). Le complément est apporté par la dotation de base (CNRS, établissements).


Principales Implications locales et régionales, nationales et internationales
Nanolyon a permis le développement de projets technologiques menés avec de nombreux partenaires nationaux (CEA LETI-DOPT, CEA-LITEN, CEA-INAC, LPN, IEMN, LTM, IMN, IML, IMEP-LAHC, RIBER, SOITEC,…) et internationaux (co-tutelles avec l'Université de Sherbrooke au Canada, projets avec des partenaires en Corée et au Japon, projets européens impliquant l'IMEC, le CEA LETI, ST Microelectronics,...).
Globalement, les activités de Nanolyon concernent une centaine de chercheurs et autant de doctorants sur la place lyonnaise.
La plate-forme a accueilli depuis 2003 plus d’une vingtaine de projets exogènes proposés par des laboratoires extérieurs ou des entreprises, soit pour des opérations standard ponctuelles (prestations de service), soit pour un développement spécifique (collaborations scientifiques). Son taux d’ouverture est de l’ordre de 20%.
 

 

Portail MEANS

La plateforme NanoLyon participe au portail MEANS (information sur l’offre de service proposée au sein de la Faculté des Sciences et Technologies de Lyon).


Formation
L’outil Nanolyon est également un élément important dans l’offre de formation (Ecoles, Université, Master NanoScale Engineering de l'Université de Lyon) et dans l’aide aux start-up et PME locales.

La plateforme assure un rôle de formation pour l’ensemble du personnel permanent et non-permanent, des étudiants en 3ème cycle, des élèves de l'Université (UCBL) et des écoles d’ingénieurs (ECL et INSA) et des stagiaires extérieurs. Ce sont près de 400 heures d’enseignement technologique pratique en salle blanche pour plus de 120 élèves qui sont dispensées annuellement.


A titre d’exemple :

  • Introduction aux technologies en salle blanche (4h)
  • Réalisation d'un microsystème : filtre sélectif à base de MOEMS (16h)
  • Réalisation de structures photoniques couplées à des guides d'onde (cages à photons verticales, microanneaux) (16h)
  • Réalisation de nanostructures photoniques (cages à photons, réseaux) par combinaison de lithographies optique et électronique (12h)
  • Introduction aux technologies de la micro- nanofabrication en salle blanche (96h)
  • Réalisation de miroirs métalliques accordables thermiquement (24 h)
  • Réalisation et caractérisation de microsystèmes fluidiques (15h)
Recommander Envoyer à un ami Imprimer Imprimer